http://warm-ir-heater-warehouse.com/uk/tags/sic/ Recent content in SiC on Warm IR Heater Warehouse Hugo uk Fri, 19 Jun 2026 01:38:17 +0800 http://warm-ir-heater-warehouse.com/uk/posts/sic-wafer-processing-heater-lamp/ Fri, 19 Jun 2026 01:38:17 +0800 http://warm-ir-heater-warehouse.com/uk/posts/sic-wafer-processing-heater-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-warehouse.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Лампа для нагріву пластин SiC під час їх обробки"></p> <p>На виробничій лінії пластини з СіК не сумісні зі стандартними нагрівальними пристроями. Для процедур м’якого та жорсткого нагрівання, а також для подальшої обробки необхідна швидка та рівномірна передача тепла, без перевищення температури, яка допускається для пластини. Якщо рівномірність температури порушується, це призводить до появи нерівностей на поверхні пластини, зміни її профілю, а також до проблем у якості продукції, які проявляються лише через кілька годин після завершення процесу обробки.</p> <p><strong>Що є важливим з технічної точки зору</strong><br> Ми використовуємо лампи для нагріву пластин з СіК, які використовують короткочастотне інфрачервоне випромінювання для передачі тепла саме туди, де це необхідно – на поверхню пластини та на елементи, які потребують обробки. Це дозволяє уникнути нагріву самої пластини чи стінок камери. Час реакції становить менше секунди, а рівномірність температури на поверхні пластини залишається в межах ±0,1°C. Це дозволяє забезпечити стабільний контроль критичних параметрів та отримати однаковий профіль після процедури літографії.</p>