http://warm-ir-heater-warehouse.com/uk/tags/%D0%BA%D1%80%D0%BE%D0%BA%D0%BE%D0%B2%D0%B8%D0%B9-%D0%B4%D0%B2%D0%B8%D0%B3%D1%83%D0%BD/ Recent content in Кроковий Двигун on Warm IR Heater Warehouse Hugo uk Tue, 09 Jun 2026 00:36:41 +0800 http://warm-ir-heater-warehouse.com/uk/posts/nikon-stepper-lamp-replacement/ Tue, 09 Jun 2026 00:36:41 +0800 http://warm-ir-heater-warehouse.com/uk/posts/nikon-stepper-lamp-replacement/ <p><img src="http://warm-ir-heater-warehouse.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Замінa лампи крокового двигуна Nikon"></p> <p>На лінії літографії кроки soft bake і hard bake визначають тепловий бюджет для кожної пластини. Навіть незначне відхилення лампи перетворює профіль фоторезисту на гру в здогадки — критичний розмір, кут боковини та кількість дефектів відповідно зміщуються. Заміна лампи для степера Nikon створена, щоб зупинити це зміщення на самому початку.</p> <p><strong>Що має технічне значення</strong><br> Ми специфікуємо галогенні джерела зі строгою геометрією нитки та кварцовими оболонками, щоб випромінювальна потужність залишалась стабільною. Це забезпечує теплову однорідність на рівні пластини в межах ±0.1°C по всій поверхні пічі, підтримуючи параметри текучості фоторезисту та видалення розчинника у межах специфікацій. Конструкція лампи сумісна з чистими приміщеннями класу до Class 1 і не генерує частинок під час прогріву та стабільної роботи. Стабільність вихідної потужності утримується в межах 0.5% понад 5,000 годин, що забезпечує сталість накладення експозиції та дози від партії до партії.</p>