Kurutma on Warm IR Heater Warehouse

MEMS sensör yonga kurutma ısıtıcısı

Fri, 24 Jul 2026 08:52:48 +0800

MEMS yongalarının doğru şekilde kurutulması
MEMS sensörleri üretirken nemden kurtulmak oldukça zordur. Yonganın kuru olması gerekiyor; ancak onu ısıyla kurutmaya çalışırsanız, substrat bozulabilir veya yüzeyde kalıntılar oluşabilir.

İşte burada kızılötesi kurutma ısıtıcıları devreye giriyor. Yüksek yoğunluklu kuvars lambalar kullanarak yüzeyi birkaç saniye içinde kurutabiliyoruz. Bu oldukça hızlı bir yöntemdir.

Güç ve ısı arasındaki denge
Unutulmamalıdır ki, sadece gücü artırıp en iyi sonucu bekleyemezsiniz. Bunu yaparsanız, yüzeyde aşırı ısınma noktaları oluşur ve bu da yongaların zarar görmesine neden olur.

Fabrika kurutma işlemleri için enerji denetimi

Tue, 21 Jul 2026 01:54:11 +0800

Fabrikalarda Kirlilik Sorununu Önlemek
Eğer 100 sınıfı bir temiz oda kullanıyorsanız, durumu zaten biliyorsunuzdur: Yalnızca küçücük bir toz parçası bile, yonga üretiminizi olumsuz etkiler. Bu oldukça sinir bozucu bir durum. Sorunun kaynağı genellikle ısıtma elemanlarıdır; bu elemanlar, stabil kalması gereken anda gaz salar veya küçük parçalar halinde dökülürler.

İşte bu yüzden IR lambalarımız için yüksek saflıkta sentetik kuvars kullanıyoruz. Böylece bu sorun ortadan kalkıyor.

Neden işe yarıyor?
Standart camın dezavantajı, yüksek sıcaklıklara dayanamaması ve mikroskobik parçaların dökülmesidir. Biz ise yüksek saflıkta kuvars kullanıyoruz; çünkü bu malzeme en yüksek sıcaklıklarda bile sağlam kalır. Ayrıca her türlü yapıştırıcı ve organik kaplamadan kaçınıyoruz; bunlar ilk birkaç çalışma döngüsünde yanarak işlemi bozar.

Fabrikalarda enerji tüketimini azaltmak

Mon, 29 Jun 2026 02:06:11 +0800

Üretim alanında, kurutma işlemi için harcadığınız her joule, işlem sonuçları için kullanılamayan bir jouledir. Geleneksel kurutucular, termal gecikmeyi telafi etmek amacıyla aşırı enerji tüketme eğilimindedir; bu da enerji israfına yol açar ve foto direnç profillerini riske atar. Bu israfı azaltmak ve yine de litografi standartlarında bir termal kontrol sağlamak için bir kurutma platformu geliştirdik.

Teknik açıdan önemli olanlar:
Orta dalga boyundaki kızılötesi ışınlayıcılar kullanıyoruz ve kapalı döngülü ince film sensörleri sayesinde wafer üzerindeki sıcaklık değerlerini ±0,1°C aralığında sabit tutabiliyoruz. Bu sayede tekrarlanabilir soft bake ve hard bake işlemleri mümkün oluyor ve CD kontrolü daha hassas hale geliyor. Cihaz 230 VAC geriliminde çalışır, kompakt yapıdadır ve ışınlayıcı dizisi modüler olduğundan bakım sırasında modüller hızlıca değiştirilebilir. Temiz oda koşulları da mevcuttur: Sınıf 1–100 koşullarında çalışır ve parçacık üretimi yoktur; bu durum online izleme ile doğrulanmıştır. Hızlı tepki süresi ve minimum aşırı ısınma nedeniyle enerji tüketimi düşer; böylece termal bütçeniz korunmuş olur.