Wafer araçlarınızın aşırı ısınmasını engelleyin
Standart kızılötesi ısıtma yönteminin her yere ısı yaydığını fark ettiniz mi? Bu, bir mumu alev püskürücüyle yakmaya çalışmak gibidir. Wafer’in sıcak olmasını istiyorsunuz, ancak bunun yerine tüm vakum odası o enerjiyi emiyor.
Bu “gereksiz ısı”, gerçek bir felaket oluşturur. Pahalı araçların gövdelerini devasa bir ısı kaynağı haline getirir; bu da termal dalgalanmalara ve en kötüsü de atölyede çalışan kişilerin yanmasına neden olur.
Daha iyi bir çözüm bulduk: Yöneltilebilir ısıtma.
Nasıl çalışır?
Isıyı her yöne yaymak yerine, kısa dalga boylu kızılötesi lambalar ve hassas yansıtıcılar kullanıyoruz. Bunu, bir ampul yerine lazer kullanmak olarak düşünebilirsiniz. Enerjiyi doğrudan wafer yüzeyine yönlendiriyoruz.
Sonuç ne mi? Odanın duvarları soğuk kalıyor. RTP işlemleri için gereken hızlı ısınma sürelerine hâlâ sahipsiniz, ancak araçların gövdeleri aşırı ısınmıyor.
Detaylar ve trade-off’lar
Yüksek güçlü kuvars tüpler kullanıyoruz; çünkü bunlar çok etkili. Yüksek güç yoğunluğu için tasarlanmış olduklarından, wafer hedeflenen sıcaklığa saniyeler içinde ulaşıyor.
Ancak dikkat etmeniz gereken bir nokta var: Soğutma sistemlerinize dikkat etmelisiniz. Işınlar o kadar yoğun ki, odak noktasındaki ısı akısı çok yüksek oluyor. Eğer soğutma sisteminiz bu yükleri kaldıramazsa, wafer üzerinde lokal olarak aşırı ısınma meydana gelir. Bu bir trade-off’tur, ancak doğru parametrelere sahipseniz bunu kolayca yönetebilirsiniz.
Atölyeyi daha güvenli hale getirme
Duvarlar artık gereksiz ısıyı emmediğinden, makinenin dış kısmı dokunulduğunda soğuk kalıyor. Bu da araçları yerleştiren veya bakım yapan kişiler için büyük bir avantaj. Artık sıcak yüzeylerden kaçınmak zorunda değilsiniz.
Ayrıca, contalar ve keçeler de daha uzun süre dayanacak. Genellikle bu parçalar, dolaylı ısı nedeniyle çok erken bozulur. Şimdi ise görevlerini sorunsuz yerine getirebilecekler.
En iyisi de şu ki: Bunlar yerine takılabilir parçalardır. Mevcut kontrol cihazlarınıza bağlayarak kullanabilirsiniz. Böylece termal etki çok daha az olur. Çok basit.