Neden ısı kaybını önlemek için altın kullanıyoruz?
Yarı iletken waferler söz konusu olduğunda, enerji israf etmek aslında para israf etmek demektir. Ancak bu sadece elektrik faturasıyla ilgili bir sorun değildir. Eğer ısı, waferin üzerine gereken yerlere ulaşmazsa, düzensiz bir ısı dağılımı oluşur ve işte o zaman gerçek sorunlar başlar.
Bu ısıtıcıları tasarlarken sadece yüksek sıcaklık elde etmeye çalışmıyoruz; aynı zamanda o enerjiyi doğru yere yönlendirmeye de çalışıyoruz. İşte bu yüzden altın kaplı yansıtıcılar kullanıyoruz. Böylece ısıtıcıdan çıkan her bir watt’ın tamamının waferin üzerine düşmesi sağlanır.
Altının avantajları
Neden sadece alüminyum kullanmadığımızı merak edebilirsiniz. Sorun şu ki alüminyum çok fazla enerji tüketir. Oysa altın, kızılötesi ışığı yansıtma konusunda mükemmeldir. Kısa dalga boylundaki radyasyonları neredeyse hiç kayıp olmadan hedefe geri yansıtır. Bu sayede, filamentleri yanırmayacak kadar düşük bir güç seviyesinde bile hedef sıcaklığa ulaşılabilir. Yani daha verimli bir çözüm.
“Soğuk noktaların” ortadan kaldırılması
Mesele sadece kaplama ile ilgili değil; şekil de önemlidir. Isının tam olarak ihtiyaç duyulan yere odaklanmasını sağlamak için geometri üzerinde çok çalışıyoruz. Bu sayede wafer üzerindeki rahatsız edici soğuk noktalar ortadan kalkar. Eğer ince film depozisyonu veya sertleştirme işlemleri yapıyorsanız, 2 derecelik bir fark bile tüm ürünleri mahvedebilir. Altın yansıtıcılar ise çok daha düzenli ve öngörülebilir bir ısı dağılımı sağlar.
Eksileri (çünkü her zaman bir eksiklik vardır)
İşin kötü yanı, bu sistem oldukça etkili olsa da altın bakım açısından biraz zordur. Kirleticilere karşı hassastır. Eğer odada kimyasal buharlar veya organik maddeler varsa, altın tabakası lekelenebilir veya okside olabilir. Böyle bir durumda yansıtma kapasitesi düşer. Yansıtıcıların parlak ve etkili kalabilmesi için sağlam bir temizlik rutini veya kuvars koruma kaplaması gereklidir.
Yeni bir ısıtıcı seçerken dikkat etmeniz gereken bir diğer nokta da soğutma sistemi입니다. Radyasyonun bu kadar etkili olması nedeniyle lamba gövdesi daha soğuk kalır, ancak wafer çok daha hızlı ısı absorbe eder. Bu yüzden PID kontrol cihazlarını uygun şekilde ayarlamanız gerekir; aksi takdirde hedef sıcaklığı aşabilirsiniz.