Ekipmanınızı Isıtmayı Bırakın (Ve Yalnızca Wafer’ları Isıtın)
Eğer standart dirençli ısıtma sistemlerini kullandıysanız, durumu biliyorsunuzdur. Bir wafer’ı ısıtmaya çalışırsınız, ancak sonuçta tüm iç alan ısınır. Bu, enerji israfıdır ve dürüst olmak gerekirse oldukça can sıkıcıdır. Kimse, dokunduğunda tehlikeli derecede sıcak hale gelen ekipmanlarla uğraşmak istemez.
Daha iyi bir yöntem olduğunu düşündük. Ekipmanın etrafındaki havayı ısıtmak yerine, yönlendirilmiş kızılötesi lambalar kullanıyoruz.
İşin püf noktası şudur: Bu lambalar, elektromanyetik radyasyonu doğrudan wafer’a yönlendirir. Kısa dalga boylu kızılötesi ışınlar kullanıldığı için enerji çevredeki havayı görmezden gelip doğrudan malzemenin içine girer. Sonuç olarak wafer ihtiyacı olan ısıyı alır, ancak makinenin dış kısmı soğuk kalır.
Detaylar: Burada ucuz cam kullanmıyoruz. Bu lambalar yüksek yoğunluklu kuvarsla kaplanmıştır; böylece sıcaklık hızla değiştirildiğinde bile lambalar çatlamaz. Daha da verimli olması için odak uzunluğunu ayarlıyor ve yansıtıcı bir katman ekliyoruz. Böylece ısı tam olarak istenen yere yönlendirilir. Diğer bölgelere sıçrama olmadan hassas bir ısı dağılımı elde edilir.
Donanım konusunda birkaç not: Her şeyin takılı kalmasını sağlamak için özel konektörler kullanıyoruz. Ayrıca, eski sistemlere bu lambaları takarken voltajı mutlaka kontrol edin. Yüksek güçlü lambalar hedeflenen sıcaklığa çok hızlı ulaşmanızı sağlar, ancak güç kaynağınıza büyük yük bindirebilir.
Kompromisler: Bu bir sihir değil. Dikkat etmeniz gereken birkaç şey var. En büyük sorun, ısı dağılımının eşit olmamasıdır. Isı çok hassas bir şekilde yönlendirildiğinden, lambanın konumu çok önemlidir. Lamba birkaç milimetre yanlış konumlandırılırsa, wafer üzerinde sıcaklık farklılıkları oluşur. Bu tatsız durumlardan kaçınmak için lambanın konumunu ve yansıtıcı açısını doğru ayarlamak için biraz daha fazla zaman harcamanız gerekebilir.
Ayrıca havalandırmayı da unutmayın. Duvarlar soğuk kalsa da, wafer kendisi yoğun ısıya maruz kalır. Eğer vakum sisteminiz yeterli değilse, yapıştırıcıların veya kirleticilerin gaz salınımıyla karşılaşabilirsiniz. Hedeflediğiniz maksimum sıcaklığı kaldırabilecek bir vakum sistemi kullanın.