http://warm-ir-heater-warehouse.com/th/tags/%E0%B8%81%E0%B8%B2%E0%B8%A3%E0%B9%83%E0%B8%AB%E0%B9%89%E0%B8%84%E0%B8%A7%E0%B8%B2%E0%B8%A1%E0%B8%A3%E0%B9%89%E0%B8%AD%E0%B8%99/ Recent content in การให้ความร้อน on Warm IR Heater Warehouse Hugo th Tue, 02 Jun 2026 03:30:53 +0800 http://warm-ir-heater-warehouse.com/th/posts/x-ray-diffraction-xrd-heating-lamp/ Tue, 02 Jun 2026 03:30:53 +0800 http://warm-ir-heater-warehouse.com/th/posts/x-ray-diffraction-xrd-heating-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-warehouse.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="หลอดไฟให้ความร้อนสำหรับการเลี้ยวเบนรังสีเอกซ์ (XRD)"></p> <p>บนพื้นโรงงาน เวเฟอร์ขนาด 300 mm วางอยู่บนสายการผลิต รอการอบแบบซอฟต์เบคที่ช่วยล็อกโปรไฟล์ของโฟโตเรซิสต์ หากแผ่นฮอตเพลตมีการเลื่อนตำแหน่งแม้เพียงเล็กน้อย การควบคุมความกว้างของเส้นจะผิดเพี้ยน และชุดงานทั้งหมดอาจกลายเป็นของเสีย เราจึงออกแบบโคมไฟ XRD สำหรับให้ความร้อนเพื่อลดความคลาดเคลื่อนดังกล่าว</p> <h2 id="สงทสำคญในเชงเทคนค">สิ่งที่สำคัญในเชิงเทคนิค</h2> <p>โคมไฟใช้คลื่นอินฟราเรดสั้นพร้อมกับหลอดควอตซ์ฮาโลเจน ส่งความร้อนตรงไปยังตำแหน่งที่ต้องการ ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิทั่วเวเฟอร์อยู่ในช่วง ±0.1°C และความแม่นยำในการตั้งค่าซ้ำยังคงเข้มงวดในแต่ละรอบการทำงาน เครื่องอยู่ในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 และในระหว่างการทำงาน การเกิดอนุภาคต่ำกว่า 0.1 อนุภาค/cm³ กำลังไฟฟ้าและความเข้มของแสงคงที่ตลอดระยะเวลาใช้งานกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยการเปลี่ยนแปลงความเข้มต่ำกว่า 5%</p> <h2 id="เหตผลทโคมไฟนเหมาะกบกระบวนการลโธกราฟ">เหตุผลที่โคมไฟนี้เหมาะกับกระบวนการลิโธกราฟี</h2> <p>ซอฟต์เบคคือขั้นตอนที่ดึงตัวทำละลายออกและตั้งความเค้นของฟิล์ม ส่วนฮาร์ดเบคจะล็อกโปรไฟล์ที่ผ่านการบ่มให้แน่นสำหรับการกัดและการฝังไอออน โคมไฟเหล่านี้ทำให้อุณหภูมิถึงจุดตั้งค่าได้อย่างรวดเร็ว ลดเวลาการอบ และรักษางบประมาณความร้อนให้สะอาด ผลลัพธ์คือความสม่ำเสมอของขนาดมิติสำคัญ ลดการทำงานซ้ำ และใช้พลังงานต่อเวเฟอร์น้อยลง<br> เมื่ออบเวเฟอร์หลังการล้าง การควบคุมแบบเดียวกันช่วยป้องกันการควบแน่นและรอยน้ำ ทำให้ผลผลิตไม่ลดลง</p> <h2 id="สงทควรพจารณา">สิ่งที่ควรพิจารณา</h2> <p>ขนาดของโคมไฟกะทัดรัดและสามารถติดตั้งในโมดูลแทร็คและโคตเตอร์ส่วนใหญ่ได้ แต่การผสานระบบยังต้องใส่ใจ ตรวจสอบความโปร่งใสของเส้นทางแสง ให้แน่ใจว่าชุดจ่ายไฟมีความเสถียร และตรวจสอบเส้นทางระบายไอระเหย<br> มีช่วงเวลาอุ่นเครื่องสั้นๆ เพื่อให้ถึงจุดตั้งค่า วางแผนสูตรการอบโดยคำนึงถึงช่วงเวลานี้ เมื่อการจัดตำแหน่งและการสอบเทียบเสร็จสมบูรณ์แล้ว ช่วงกระบวนการจะกว้างขึ้นโดยไม่เพิ่มความซับซ้อนเพิ่มเติมใดๆ</p> <iframe width="560" height="315" src="https://www.youtube.com/embed/1v5i-8vlNkQ?feature=oembed" title="หลอดไฟให้ความร้อนสำหรับการเลี้ยวเบนรังสีเอกซ์ (XRD)" frameborder="0" allow="accelerometer; [autoplay](https://o-yate.net); clipboard-write; encrypted-media; [gyroscope](https://henruite.com); picture-in-picture; web-share" referrerpolicy="strict-origin-when-cross-origin" allowfullscreen></iframe>