Замена лампы в стереоскопе Nikon

Tue, 09 Jun 2026 00:36:41 +0800

На литографическом этаже этапы мягкого и твердого запекания задают тепловой бюджет для каждой пластины. Даже незначительное изменение параметров лампы превращает профиль фоторезиста в игру в угадайку — критические размеры, угол наклона боковых стенок и количество дефектов изменяются вместе с ней. Замена лампы в степере Nikon спроектирована так, чтобы остановить это изменение на самом его начале.

Что важно с технической точки зрения
Мы используем галогенные источники с точной геометрией нити накала и кварцевыми колбами, чтобы обеспечить повторяемость излучения. Это обеспечивает тепловую однородность на уровне пластины в пределах ±0.1°C по всей поверхности запекательной пластины, что поддерживает характеристики течения фоторезиста и удаление растворителя в пределах спецификаций. Сборка лампы совместима с чистыми помещениями класса Class 1, при этом не образуются частицы ни на стадии прогрева, ни в установившемся режиме. Стабильность выходной мощности сохраняется в пределах 0.5% на протяжении более 5,000 часов, что гарантирует стабильность наложения и дозы экспозиции от партии к партии.

Шаговый Двигатель on Warm IR Heater Warehouse

Замена лампы в стереоскопе Nikon