Нагревательная лампа TEL (Tokyo Electron)

Sat, 27 Jun 2026 00:56:31 +0800

На производственной площадке важно понимать, насколько быстро изменение температуры на 0,5°C во время обработки фотополимера может привести к смещению ширины линий на несколько нанометров, что серьезно влияет на качество изделия. Термоконтроль — это не второстепенный фактор; это основа всего процесса. Нагревательные лампы TEL разработаны именно для обеспечения точного контроля температуры в тех местах, где встречаются пластина, фотополимер и другие компоненты.

Что действительно имеет значение
Нагревательные лампы TEL используют кратковолновое инфракрасное излучение для передачи энергии непосредственно в кварцевые контейнеры и саму пластину. Это позволяет достичь скорости реагирования в пределах нескольких секунд, а также обеспечивает однородность температуры по всей поверхности пластины в пределах ±0,1°C. Благодаря такой точности процесс удаления растворителей и процесс связывания молекул происходит стабильно, что способствует сохранению точности параметров производства.

(Токио on Warm IR Heater Warehouse

Нагревательная лампа TEL (Tokyo Electron)