Lampa grzewcza do obróbki płytek SiC

Fri, 19 Jun 2026 01:38:17 +0800

W praktyce płytki z SiC nie nadają się do używania z standardowymi grzałkami. Procesy delikatnego wypalania, intensywnego wypalania oraz utwardzania wymagają szybkiego i równomiernego dostarczania ciepła, bez przekraczania limitów termicznych płytki. Gdy jednorodność temperatury spada, pojawiają się problemy z powierzchnią płytki, a efekty procesu są widoczne dopiero po kilku godzinach pomiarów.

Co jest istotne z technicznego punktu widzenia
Używamy lamp grzewczych do obróbki płytek z SiC, które wykorzystują krótkofalowe promienie podczerwone, aby skierować ciepło dokładnie tam, gdzie jest potrzebne – na powierzchnię płytki – bez nagrzewania otaczających elementów lub ścian komory. Reakcja lampy jest błyskawiczna, a jednorodność temperatury na całej powierzchni płytki wynosi ±0,1°C. W praktyce to zapewnia konsekwentną kontrolę kluczowych wymiarów płytki i umożliwia uzyskanie powtarzalnych rezultatów po procesie litografii.

Grzejnik do obróbki baterii w stanie stałym

Thu, 18 Jun 2026 00:36:17 +0800

W procesie produkcji baterii typu solid-state konieczne jest ścisłe kontrolowanie temperatury – tak samo jak w przypadku tolerancji wymaganych od płytek krzemowych. Nawet niewielka odchylka od ustalonej temperatury może negatywnie wpłynąć na jakość produktu, a warstwy interfejsowe mogą mieć wady. Stworzyliśmy ten grzejnik do obróbki baterii typu solid-state, aby zapewnić, że każdy etap procesu odbywa się w określonym zakresie temperatury.

Co jest istotne z technicznego punktu widzenia? Wykorzystujemy promieniowanie podczerwone o krótkiej długości fali oraz emitory kwarcowe o szybkiej reakcji, aby przekazać ciepło bezpośrednio do substratu. W strefie aktywnej jednolitość temperatury wynosi ±0,1°C, a powtarzalność między kolejnymi cyklami obróbki – ±0,5°C. System może funkcjonować w pomieszczeniach klasy czystości 1–100 bez doprowadzania dodatkowych cząsteczek, co potwierdzamy poprzez badania „in situ”. Profilowanie fotorezystu pozostaje stałe przez cały proces obróbki, a czas utwardzania jest kontrolowany z dokładnością do milisekund – bez żadnych odchyłek spowodowanych długimi czasami obróbki.

Przetwarzanie on Warm IR Heater Warehouse

Lampa grzewcza do obróbki płytek SiC

Grzejnik do obróbki baterii w stanie stałym