Jak pozbyć się ozonu w procesach utwardzania przy użyciu promieniowania podczerwonego
Podczas produkcji półprzewodników ostatnią rzeczą, jakiej chcesz, jest proces suszenia, który może uszkodzić płytki krzemowe lub przekształcić czystą salę produkcyjną w miejsce niebezpieczne. Dlatego używamy lamp podczerwonych bez zawartości ozonu. To pomaga uniknąć problemów związanych z emisją ozonu i sprawia, że proces utwardzania przebiega bezproblemowo.
Dlaczego ozon stanowi problem?
Problem polega na tym, że standardowe lampy podczerwone emitują promieniowanie o długości fali od 185 nm do 254 nm. Ta długość fali powoduje reakcję z tlenem w powietrzu, w rezultacie czego powstaje ozon. W fabrykach ozon stanowi poważny problem – niszczy sprzęt i stanowi zagrożenie dla ludzi pracujących przy maszynach. Nikt tego nie chce.
Jak rozwiązać ten problem?
Aby temu zapobiec, używamy rur kwarcowych z specjalnymi powłokami. Można to porównać do filtra dla widma VUV. Poprzez blokowanie wszystkich fal o długości mniejszej niż 200 nm, lampa nadal dostarcza energię potrzebną do utwardzania, ale zapobiega reakcjom chemicznym, które powodują powstawanie ozonu. Proste.
Co to oznacza dla Twojej fabryki?
Najlepsze jest to, że nie musisz używać dużych systemów wentylacyjnych do usuwania gazów z powietrza. Stacja utwardzania zajmuje mniej miejsca, a Ty unikasz marnowania energii na nadmierną wentylację. Ponadto, te lampy dostarczają energię bezpośrednio do materiału, który jest utwardzany. Unikasz w ten sposób marnowania czasu na podgrzewanie powietrza wokół elementu – podgrzewasz sam element. Dlatego ten sposób jest doskonały do pracy z ekologicznymi żywicami oraz pastami lutowniczymi bez ołowiu.
Jedyny minus: Ponieważ filtrujemy widmo VUV, rozkład energii się nieco zmienia. Może być konieczne dostosowanie prędkości transportu lub czasu obecności elementu w stacji utwardzania, aby osiągnąć pożądaną temperaturę. Jeśli używasz linii o wysokiej wydajności, upewnij się, że wszystko funkcjonuje prawidłowo.
Jak to uruchomić?
Te lampy są projektowane jako zamienniki istniejących urządzeń. Jeśli już masz tunelowe urządzenia do utwardzania, te lampy mogą zostać łatwo w nich zamontowane. Pracują przy standardowych napięciach przemysłowych, więc wystarczy je podłączyć do istniejących kontrolerów i zacząć pracować.
Porada: Utrzymuj rury kwarcowe w czystości. Jeśli na szkle pojawi się kurz, powstaną „gorące punkty”, co może przyspieszyć zużycie żarnika. Jeśli rury będą czyste, będą służyć dłużej.