Pengilang pengering wafer China

Sun, 07 Jun 2026 00:55:14 +0800

Pada lantai fab, soft bake pada 110°C dengan drift ±1.5°C bukan sekadar parameter—ia adalah kebocoran hasil yang sedang menunggu untuk terjadi. Watermark, edge bead, keruntuhan pola—semua bermula sebaik sahaja kawalan terma tergelincir. Anda memerlukan pengering yang menganggap wafer sebagai syarat sempadan terma, bukan sekadar satu lagi batch yang perlu diproses.

Kami membina pengering wafer berdasarkan pemindahan haba yang boleh diulang dan kawalan pencemaran. Terasnya adalah inframerah gelombang pendek, pantas dan berarah, digabungkan dengan ruang terasing kuarza yang mengekalkan penghasilan partikel pada tahap dasar. Keseragaman suhu merentasi wafer kekal dalam ±0.1°C, dan kestabilan setpoint dikekalkan pada ±0.2°C sepanjang proses bake yang panjang. Kawalan resipi mengunci masa dan suhu supaya kelakuan photoresist adalah seragam dari lot ke lot. Sistem ini dinilai untuk bilik bersih Kelas 1–100, dengan ekzos berintegrasi HEPA dan bahan dipilih bagi mengelakkan pembuangan gas.

Pengilang on Warm IR Heater Warehouse

Pengilang pengering wafer China