
Berhenti membuang masa dengan kaedah yang tidak efektif: Mengapa lampu karbon serat inframerah lebih unggul dalam proses pemprosesan semikonduktor
Mari kita bincangkan tentang penggunaan udara panas. Kebanyakan daripada kita sudah biasa dengan kaedah konveksi—iaitu dengan memanaskan udara terlebih dahulu, dan kemudian udara tersebut akan memanaskan permukaan bahan yang diproses. Namun, dalam proses pemprosesan semikonduktor yang kompleks, waktu yang diperlukan untuk proses ini sangat lama. Ini menyebabkan kelewatan dalam proses pemprosesan dan mengurangkan kelajuan keseluruhan proses tersebut.
Lampu karbon serat inframerah pula berfungsi secara berbeza. Ia tidak perlu menggunakan udara sama sekali. Sebaliknya, ia menghantar tenaga terus ke permukaan bahan yang diproses.
Mengapa ia lebih baik
Jika anda pernah menggunakan pemanas kuarsa biasa, anda pasti tahu betapa menyakitkannya menunggu sehingga bilik pemprosesan mencapai suhu yang diinginkan. Proses ini memerlukan masa yang lama.
Namun, filamen karbon serat berbeza. Sebaik sahaja suis dihidupkan, ia akan mula berfungsi serta-merta. Masa yang diperlukan untuk proses ini berkurangan dari minit menjadi saat sahaja. Ia hampir instan.
Selain itu, lampu ini dikonfigurasikan agar dapat menghasilkan tenaga pada panjang gelombang tertentu. Ini bermakna tenaga tersebut akan sampai ke tempat yang sepatutnya, iaitu ke permukaan wafer, bukannya hanya memanaskan bahagian logam mesin tersebut.
Kelebihan lain
Salah satu kelebihan utama ialah anda tidak perlu lagi menguruskan sistem pengudaraan yang rumit. Dengan menggunakan lampu inframerah, saluran udara yang besar dan kipas yang besar boleh dibuang begitu saja. Anda boleh mendapatkan kuasa yang lebih tinggi dalam ruang yang lebih kecil. Ini membolehkan anda mengatur susunan mesin dengan lebih baik dan meningkatkan efisiensi ruang kerja anda.
Kekurangan
Namun, ada juga kelemahannya. Suhu yang dihasilkan sangat tinggi, jadi jika kawalan PID tidak diset dengan betul, suhu tersebut boleh melebihi batas yang ditetapkan. Jika sensor tidak berfungsi dengan baik, lampu tersebut akan memanaskan bahan yang diproses secara berlebihan sebelum sistem menyedari bahawa ia perlu menghentikan aliran tenaga tersebut.
Anda memerlukan termokopel atau pirometre yang responsif untuk mengawal suhu tersebut.
Namun, bagi mana-mana kilang yang ingin memproses lebih banyak wafer dalam setiap jam, ini merupakan cara yang terbaik. Anda sebenarnya menukar masalah pengurusan udara dengan ketepatan kawalan elektrikal. Ia merupakan pertukaran yang adil.