http://warm-ir-heater-warehouse.com/ko/tags/%EC%99%80%ED%8D%BC/ Recent content in 와퍼 on Warm IR Heater Warehouse Hugo ko Fri, 19 Jun 2026 01:38:17 +0800 http://warm-ir-heater-warehouse.com/ko/posts/sic-wafer-processing-heater-lamp/ Fri, 19 Jun 2026 01:38:17 +0800 http://warm-ir-heater-warehouse.com/ko/posts/sic-wafer-processing-heater-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-warehouse.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="SiC 웨이퍼 처리용 히터 램프"></p> <p>실제 가동 환경에서 SiC 웨이퍼는 일반적인 가열판과 잘 어울리지 않습니다. 소프트 베이크, 하드 베이크, 그리고 포스트-어플라이 큐어 과정 모두에서 빠르고 균일한 열을 공급해야 하며, 웨이퍼가 허용 가능한 열 한계를 넘지 않도록 해야 합니다. 온도 균일성이 떨어지면 웨이퍼의 가장자리에 결함이 생기거나 프로파일에 변화가 생기며, 이러한 문제들은 몇 시간 후에야 발견됩니다.</p>