http://warm-ir-heater-warehouse.com/ja/tags/pid/ Recent content in PID on Warm IR Heater Warehouse Hugo ja Thu, 25 Jun 2026 00:50:57 +0800 http://warm-ir-heater-warehouse.com/ja/posts/pid-controlled-semiconductor-heater/ Thu, 25 Jun 2026 00:50:57 +0800 http://warm-ir-heater-warehouse.com/ja/posts/pid-controlled-semiconductor-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-warehouse.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="PID制御型半導体ヒーター"></p> <p>ファブ内では、フォトレジストのソフトベイク時に0.5℃の温度変動があれば、多くのウェーハが廃棄処分になってしまいます。ウェーハの乾燥も、表面全体で均一な温度を維持できないと効果が得られません。そこで、このような変動を防ぐために、PID制御式の半導体ヒーターを搭載しました。また、ウェーハ全体での温度安定性を<a href="https://o-yate.com">確保</a>するために、クローズドループ式の赤外線制御も採用しています。</p>