http://warm-ir-heater-warehouse.com/ja/tags/mems/ Recent content in MEMS on Warm IR Heater Warehouse Hugo ja Fri, 24 Jul 2026 08:52:47 +0800 http://warm-ir-heater-warehouse.com/ja/posts/technical-specifications-for-mems-sensor-wafer-drying-heaters/ Fri, 24 Jul 2026 08:52:47 +0800 http://warm-ir-heater-warehouse.com/ja/posts/technical-specifications-for-mems-sensor-wafer-drying-heaters/ <p><img src="http://warm-ir-heater-warehouse.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="MEMSセンサーワーフ乾燥ヒーター"></p> <p>MEMSウェーハの適切な乾燥方法<br> MEMSセンサーを製造する際、水分を取り除くことはかなり難しい作業です。ウェーハを乾燥させる必要がありますが、単に高温で加熱してしまうと、基板上にひび割れが生じたり、残留物が残ったりしてしまいます。</p>