センサー on Warm IR Heater Warehouse

ウエハ用高精度IRセンサー

Wed, 29 Jul 2026 02:40:46 +0800

なぜウェーハ製造においてIR硬化を採用するのか
溶剤ベースの乾燥方法から赤外線（IR）硬化への切り替えは、単に流行に乗るだけのことではありません。実際、これは物理学上の理にかなった選択です。
小さなウェーハを乾燥させるために部屋全体を加熱する代わりに、IRセンサーやエミッターを使ってコーティング層内の特定の分子振動に直接エネルギーを与えます。つまり、エネルギーが必要な場所に直接届くのです。そのため、従来の熱処理法で必要だった有害な化学触媒や鉛含有の安定剤は不要になります。

MEMSセンサーワーフ乾燥ヒーター

Fri, 24 Jul 2026 08:52:47 +0800

MEMSウェーハの適切な乾燥方法
MEMSセンサーを製造する際、水分を取り除くことはかなり難しい作業です。ウェーハを乾燥させる必要がありますが、単に高温で加熱してしまうと、基板上にひび割れが生じたり、残留物が残ったりしてしまいます。

スマートセンサーパッケージング・赤外線

Mon, 20 Jul 2026 14:17:17 +0800

IR加熱と熱風の違い：なぜ半導体包装においてこの選択が重要か
スマートセンサーの処理を行う際、1秒でも無駄にすることは、まるでお金が流出していくようなものです。長年にわたり、私たちは熱風を利用してきましたが、IR加熱への移行は、まさにその遅れを解消するためのものです。

水素センサー製造用ヒーター

Wed, 15 Jul 2026 13:22:46 +0800

水素センサーでの熱の無駄遣いをやめましょう。
水素センサーを製造する際、熱管理は非常に重要です。もし薄膜の形成やアニーリングの過程でわずかでも誤差が生じると、ウェーハ全体が無駄になってしまいます。

問題点は、従来の石英ランプでは熱があらゆる方向に放出されてしまうことです。そのエネルギーを捕捉する手段がなければ、支払った電力の多くが機械の筐体内で無駄になってしまいます。これは明らかな無駄遣いです。

ウェーハ処理装置用温度センサー

Sat, 11 Jul 2026 04:03:20 +0800

ウェーハ加工用のツールが過熱するのを防ぎましょう。
一般的な赤外線加熱方式では、熱があらゆる方向に放出されてしまいます。まるで、マッチ棒でろうそくに火をつけようとしているようなものです。ウェーハを温めたいのに、実際には真空チャンバー全体がその熱エネルギーを吸収してしまいます。
この「余分な熱」は大きな問題です。高価なツールのケースが巨大な放熱体と化し、結果として温度変動が生じ、最悪の場合、作業員が火傷する危険性もあります。
私たちは、より良い方法を見出しました。それが「指向性加熱」です。