http://warm-ir-heater-warehouse.com/ja/tags/%E3%82%B9%E3%83%86%E3%83%83%E3%83%91%E3%83%BC/ Recent content in ステッパー on Warm IR Heater Warehouse Hugo ja Tue, 09 Jun 2026 00:36:41 +0800 http://warm-ir-heater-warehouse.com/ja/posts/nikon-stepper-lamp-replacement/ Tue, 09 Jun 2026 00:36:41 +0800 http://warm-ir-heater-warehouse.com/ja/posts/nikon-stepper-lamp-replacement/ <p><img src="http://warm-ir-heater-warehouse.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="ニコン ステッパー ランプ交換"></p> <p>リソグラフィ工程において、ソフトベークおよびハードベークの段階は各ウェハの熱予算を設定する。ランプがわずかにでもドリフトすると、フォトレジストの断面形状が不確定要素となり、クリティカル寸法、サイドウォール角度、欠陥数が<a href="https://o-yate.com">連動</a>して変動する。Nikonステッパーのランプ交換は、そのドリフトを発生源で抑制するよう設計されている。</p>