Riscaldatore per il trattamento delle batterie a stato solido

Thu, 18 Jun 2026 00:36:17 +0800

Nel processo di produzione delle batterie a stato solido, è necessario un controllo termico estremamente preciso, pari alle tolleranze richieste per i wafer stessi. Anche il minimo errore nel processo di riscaldamento può compromettere i risultati della litografia, mentre gli strati di interfaccia presentano difetti. Abbiamo progettato questo riscaldatore apposta per mantenere ogni fase del processo entro i limiti termici stabiliti.

Ciò che è importante dal punto di vista tecnico
Utilizziamo radiazioni infrarosse a breve lunghezza d’onda, insieme a emettitori in quarzo ad alta velocità di risposta, per trasferire il calore direttamente sul substrato. Nella zona attiva, l’uniformità della temperatura rimane entro ±0,1°C, mentre la ripetibilità tra una sessione e l’altra è inferiore a ±0,5°C. Il sistema funziona in ambienti puliti di classe 1–100, senza generare particelle indesiderate; inoltre, verifichiamo costantemente questa caratteristica. I profili del fotoresist rimangono costanti durante tutto il processo di riscaldamento, e i tempi di solidificazione vengono controllati con precisione millisecondo per millisecondo, evitando qualsiasi variazione dovuta a tempi di riscaldamento troppo lunghi.

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