Produsen pengering wafer Cina

Sun, 07 Jun 2026 00:55:13 +0800

Di lantai fab, soft bake pada 110°C dengan drift ±1,5°C bukan sekadar parameter—itu adalah potensi kebocoran hasil produksi yang siap terjadi. Watermark, edge bead, pattern collapse—semua mulai muncul saat kontrol termal melorot. Anda membutuhkan pengering yang memperlakukan wafer sebagai kondisi batas termal, bukan hanya batch lain yang harus diproses.

Kami merancang pengering wafer dengan prinsip perpindahan panas yang dapat diulang dan kontrol kontaminasi. Intinya adalah inframerah gelombang pendek, cepat dan terarah, dikombinasikan dengan ruang isolasi kuarsa yang menjaga agar partikel tetap pada level dasar. Keseragaman suhu di seluruh wafer tetap dalam ±0,1°C, dan stabilitas setpoint terjaga pada ±0,2°C selama proses bake yang panjang. Kontrol resep mengunci waktu dan suhu sehingga perilaku photoresist sama antar batch. Sistem ini diklasifikasikan untuk cleanroom Kelas 1–100, dengan exhaust terintegrasi HEPA dan bahan yang dipilih untuk menghindari outgassing.

Produsen on Warm IR Heater Warehouse

Produsen pengering wafer Cina