http://warm-ir-heater-warehouse.com/id/tags/oksidasi/ Recent content in Oksidasi on Warm IR Heater Warehouse Hugo id Wed, 17 Jun 2026 10:54:47 +0800 http://warm-ir-heater-warehouse.com/id/posts/wafer-oxidation-heating-element/ Wed, 17 Jun 2026 10:54:47 +0800 http://warm-ir-heater-warehouse.com/id/posts/wafer-oxidation-heating-element/ <p><img src="http://warm-ir-heater-warehouse.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Elemen pemanas untuk oksidasi wafer"></p> <p>Di lingkungan produksi, parameter termal dari furnace oksidasi <a href="https://henruite.com">menentukan</a> tingkat integritas lapisan oksida pada seluruh permukaan wafer. Perubahan suhu sebesar 1°C saja sudah cukup untuk mengubah wafer yang berkualitas menjadi bahan limbah. Kami merancang elemen pemanas untuk proses oksidasi wafer sedemikian rupa sehingga variasi suhu tersebut dapat dihilangkan.</p> <p><strong>Yang penting secara teknis:</strong> Inti dari desain ini adalah arry lampu halogen kuarsa yang mampu menghasilkan energi gelombang pendek yang langsung masuk ke dalam wafer. Dengan demikian, keseragaman suhu dapat dicapai hingga ±0,1°C di seluruh area proses. Pada node berukuran sub-10nm, hal ini sangat penting. Kualitas fotoresist dan tingkat selektivitas proses etching sangat bergantung pada ketepatan proses pemanasan tersebut. Elemen pemanas ini mampu mempertahankan stabilitas suhu tersebut secara konstan, 24/7, tanpa adanya partikel tambahan, sesuai dengan standar ruang <a href="https://o-yate.com">bersih</a> kelas 1.</p>