Mengapa kita menggunakan emas untuk mencegah pemborosan panas
Dunia wafer semikonduktor memang menghadapi masalah pemborosan energi. Pemborosan energi berarti pemborosan uang. Namun, masalahnya bukan hanya soal tagihan listrik saja. Jika panas yang dihasilkan tidak sampai ke wafer pada titik yang tepat, maka akan terjadi ketidakteraturan dalam distribusi panas. Itulah yang menyebabkan masalah yang serius.
Saat kita membuat pemanas ini, kita tidak hanya berusaha untuk menghasilkan panas saja. Kita juga berusaha mengarahkan energi tersebut ke tempat yang tepat. Itulah sebabnya kita menggunakan reflektor yang dilapisi emas. Dengan demikian, hampir setiap watt energi yang dihasilkan oleh elemen pemanas benar-benar sampai ke wafer.
Kelebihan menggunakan emas
Anda mungkin bertanya-tanya mengapa kita tidak menggunakan aluminium saja. Masalahnya adalah aluminium menyerap terlalu banyak energi. Sebaliknya, emas sangat efektif dalam memantulkan cahaya inframerah. Cahaya inframerah tersebut dipantulkan kembali ke target dengan sedikit sekali kerugian energi. Dengan demikian, kita dapat mencapai suhu yang diinginkan tanpa perlu meningkatkan daya pemanas secara berlebihan. Ini tentu lebih efisien.
Menghilangkan “titik dingin”
Bukan hanya lapisan pelindungnya saja yang penting, tetapi bentuknya juga sangat penting. Kita membutuhkan waktu yang cukup untuk menyesuaikan geometri pemanas agar panasnya bisa fokus tepat di tempat yang dibutuhkan. Dengan demikian, titik-titik dingin di permukaan wafer dapat dihilangkan. Jika Anda melakukan proses deposisi lapisan tipis atau proses pengeringan, perbedaan suhu sebesar 2 derajat saja sudah cukup untuk merusak seluruh produksi. Reflektor emas memberikan hasil yang lebih baik dan lebih dapat diprediksi.
Kekurangan menggunakan emas
Masalahnya adalah, meskipun sistem ini sangat efektif, emas membutuhkan perawatan yang lebih rumit. Emas mudah terkontaminasi. Jika ruang pemrosesan memiliki uap kimia atau zat organik, lapisan emas tersebut bisa kotor atau teroksidasi. Setelah itu, kemampuan reflektivitasnya akan menurun. Anda perlu memiliki prosedur pembersihan yang ketat atau menggunakan pelindung kuarsa agar reflektor tetap bersih dan efektif.
Tips tambahan
Jika Anda ingin memilih pemanas baru, perhatikanlah sistem pendinginannya. Karena radiasi yang dihasilkan sangat efektif, bagian lampu akan tetap dingin, tetapi wafer akan menyerap panas dengan cepat. Anda perlu menyesuaikan pengontrol PID agar responsnya lebih cepat, agar suhu tidak melebihi batas yang diinginkan.