आईआर क्यूरिंग प्रक्रिया में ओजोन को दूर करना
जब हम सेमीकंडक्टर बनाते हैं, तो हमें ऐसी सुखाने वाली प्रक्रियाओं से बचना होता है, जिससे वेफरों को नुकसान पहुँचे, या क्लीनरूम में खतरा पैदा हो। इसीलिए हम ओजोन-रहित इन्फ्रारेड (IR) लैंपों का उपयोग करते हैं। इससे हमें “हरित” एवं शीशा-रहित उत्पादों को बनाने में कोई परेशानी नहीं होती।
ओजोन क्यों समस्या है?
समस्या यह है कि सामान्य शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड लैंप 185नैनोमीटर से 254नैनोमीटर की तरंगदैर्घ्य में विकिरण उत्सर्जित करते हैं। यह विशिष्ट तरंगदैर्घ्य हवा में मौजूद ऑक्सीजन को O3 – अर्थात् ओजोन में बदल देता है।
कारखानों में ओजोन एक बड़ी समस्या है। यह उपकरणों को नष्ट कर देता है, एवं मशीनों को चलाने वाले लोगों के लिए हवा को खतरनाक बना देता है। कोई भी ऐसा नहीं चाहता।
हम इस समस्या को विशेष कोटिंग/डोपेंट वाली क्वार्ट्ज ट्यूबों का उपयोग करके हल करते हैं। इन ट्यूबों को VUV स्पेक्ट्रम के लिए फिल्टर के रूप में ही समझें। 200नैनोमीटर से कम तरंगदैर्घ्य वाले विकिरणों को रोककर, ये लैंप आवश्यक ऊष्मा ही प्रदान करते हैं; लेकिन ओजोन बनने वाली रासायनिक प्रक्रिया को रोक देते हैं। बहुत ही सरल।
इसका आपके लिए क्या लाभ है?
सबसे अच्छी बात यह है कि आपको हवा से गैसों को हटाने हेतु विशाल एवं जटिल वेंटिलेशन सिस्टमों की आवश्यकता नहीं है। आपका क्यूरिंग स्टेशन कम जगह घेरता है, एवं अतिरिक्त वेंटिलेशन हेतु ऊर्जा की बर्बादी भी नहीं होती।
इसके अलावा, ये लैंप ऊर्जा को सीधे सब्सट्रेट में ही देते हैं। आपको उत्पाद के चारों ओर की हवा को गर्म करने में समय बर्बाद नहीं करना पड़ता; बल्कि आप सीधे ही उत्पाद को ही गर्म करते हैं। यही कारण है कि यह विधि पर्यावरण-अनुकूल रेजिनों एवं शीशा-रहित सोल्डर पेस्टों के लिए बहुत ही उपयुक्त है।
एक बात ध्यान में रखें:
चूँकि हम VUV स्पेक्ट्रम को फिल्टर कर रहे हैं, इसलिए ऊर्जा का वितरण थोड़ा बदल जाता है। आपको अपनी कन्वेयर स्पीड या समय को समायोजित करने की आवश्यकता हो सकती है, ताकि आपको वांछित तापमान प्राप्त हो सके। यदि आप उच्च-गति वाली लाइनों का उपयोग कर रहे हैं, तो अपनी रैम्प-अप दरों की जाँच अवश्य करें।
सेटअप कैसे करें?
हमने इन लैंपों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि वे सीधे ही पुराने लैंपों की जगह ले सकें। ये सामान्य औद्योगिक वोल्टेज पर ही काम करते हैं; इसलिए आप इन्हें अपने मौजूदा कंट्रोलरों में ही जोड़ सकते हैं।
एक सुझाव: क्वार्ट्ज ट्यूबों को हमेशा साफ रखें। यदि ग्लास पर धूल जम जाए, तो वहाँ गर्म बिंदु बन जाते हैं… ऐसी स्थिति में फिलामेंट जल्दी ही खराब हो जाता है। इन्हें हमेशा साफ रखें, ताकि वे लंबे समय तक काम कर सकें।