למה אנו עוברים לייבוש באמצעות קרינת אינפרא-אדום במפעלי ייצור השבבים
המעבר מייבוש באמצעות חומרים מרסנים לייבוש באמצעות קרינת אינפרא-אדום אינו רק טרנד חולף – זו בעצם שאלה של עקרונות פיזיקליים פשוטים. במקום לחמם את כל החדר רק כדי לייבש שבב קטן, אנו משתמשים בחיישני אינפרא-אדום ובמקורות קרינה כדי לפגוע ישירות בוויברציות המולקולריות של השכבה המצפה את השבב. זה אומר שהאנרגיה מגיעה ישירות למקום הנכון. בזכות זה, אנו יכולים לוותר על הקטליזטורים הכימיים ועל החומרים המכילים עופרת שהיו נהוגים בשיטות החימום הישנות.
חיסכון באנרגיה
חשבו על תנור קונבקציה רגיל – הוא מבזבז כמות אדירה של אנרגיה רק כדי לחמם את האוויר סביב המוצר. זה בזבוז. לעומת זאת, בשיטת האינפרא-אדום אנו שולחים קרינה אלקטרומגנטית ישירות לפני השבב. אין צורך לחכות שעות עד שהתנור יגיע לטמפרטורה הנדרשת – די בללחוץ על מתג, והמקורות הפולטים יהיו מוכנים תוך שניות. בנוסף, מכיוון שאנו משתמשים בקרינת אינפרא-אדום בעלת גלים קצרים, האנרגיה חודרת במהירות את שכבת הפוטורזיסט או החומר הדביק. זה אומר שהתהליך קורה במהירות, וכתוצאה מכך נחסכים קילוגרם-שעות של אנרגיה לכל שבב. זה פשוט הגיוני.
שמירה על ניקיון וחוסר בעופרת
אם אתם עובדים לפי סטנדרטים ללא עופרת, טווח הטמפרטורות המותר הוא מאוד צר. אם הטמפרטורה גבוהה מדי, השבב עלול להינזק, או שעלולים להתרחש תהליכים של פליטת חומרים כימיים שאינם רצויים. כדי למנוע זאת, אנו משתמשים בחיישנים שמעקבים אחר פני השבב בזמן אמת. אם הטמפרטורה יורדת או עולה, המערכת מתאימה את האנרגיה באופן מיידי כדי שהטמפרטורה תישאר בטווח של ±1°C. זה מאוד נוח – אין צורך יותר בחומרים מכילי עופרת כדי למנוע חימום יתר של התנור. זו שיטה נקייה שעומדת בתקנים הסביבתיים העולמיים, ללא כל בעיות.
המציאות
אמנם ייבוש באמצעות קרינת אינפרא-אדום הוא מהיר, אך זה לא קסם. יש חיסרון אחד: השכבה העליונה של השבב יכולה להתייבש מהר יותר מהשכבה התחתונה. אם לא נזהרים במיקום החיישנים או במרחק של המקורות הפולטים, עלולה להיווצר אי-אחידות בתהליך הייבוש. ואם התהליך לא מתבצע בצורה מושלמת, עלולים להיווצר סדקים בשבב. צריך קצת כיול כדי שהתהליך יהיה מושלם, אך לאחר מכן זו חוויה שונה לחלוטין.