Lampe de chauffage pour diffraction des rayons X (DRX)

Tue, 02 Jun 2026 03:30:53 +0800

Sur le plancher de production, une plaquette de 300 mm est positionnée sur la ligne, en attente du soft bake qui fixe le profil du photoresist. Si la plaque chauffante dévie même légèrement, la maîtrise de la largeur de ligne est compromise et toute la série peut finir à la casse. Nous avons conçu les lampes de chauffage XRD pour éliminer cette variabilité.

Ce qui compte, techniquement

Les lampes fonctionnent en infrarouge à ondes courtes avec des éléments quartz halogène, délivrant la chaleur directement là où elle est nécessaire. L’uniformité de température sur la plaquette se maintient à ±0,1°C, et la répétabilité du point de consigne reste rigoureuse d’un cycle à l’autre. Elles sont installées en salles blanches Class 1 à 100, et durant le fonctionnement, la génération de particules est inférieure à 0,1 particule/cm³. La puissance émise reste stable au-delà de 5 000 heures, avec une dérive d’intensité inférieure à 5 %.

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Lampe de chauffage pour diffraction des rayons X (DRX)

Ce qui compte, techniquement