Fabricant de séchoirs à plaquettes en Chine

Sun, 07 Jun 2026 00:55:13 +0800

Sur le sol de fabrication, un soft bake à 110°C avec une dérive de ±1,5°C n’est pas qu’un paramètre : c’est une fuite de rendement prête à s’ouvrir. Les marques d’eau, le bord de la galette, l’effondrement du motif—tout cela commence dès que le contrôle thermique faiblit. Vous avez besoin d’un séchoir qui traite la plaquette comme une condition limite thermique, et non comme un autre lot à traiter.

Nous construisons des séchoirs pour plaquettes autour d’un transfert de chaleur répétable et d’un contrôle de contamination. Le cœur est un infrarouge à ondes courtes, rapide et directionnel, associé à une chambre isolée en quartz qui maintient la génération de particules à un niveau de base. L’uniformité de la température sur la plaquette reste dans une plage de ±0,1°C, et la stabilité du point de consigne se maintient à ±0,2°C durant de longues cuissons. Le contrôle des recettes verrouille le temps et la température pour que le comportement de la résine photosensible soit identique d’un lot à l’autre. Le système est classé pour les salles blanches de Classe 1 à 100, avec un échappement intégré HEPA et des matériaux choisis pour éviter les dégazages.

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Fabricant de séchoirs à plaquettes en Chine