
Comment maintenir votre usine à un niveau de propreté de classe 100
Dans le monde des semi-conducteurs, une seule particule de poussière ou un minuscule fragment d’oxyde métallique suffit pour détruire une wafer. C’est extrêmement dangereux. La plupart des éléments chauffants ne sont tout simplement pas conçus pour supporter cela : ils émettent des gaz ou des particules chaque fois qu’ils se réchauffent et se refroidissent.
C’est pourquoi nous utilisons des lampes à rayonnement infrarouge en quartz synthétique de haute pureté. Elles ont été conçues spécialement pour les salles propres de classe 100 (ISO 5), car elles ne créent aucune saleté.
Le secret réside dans le quartz.
Nous utilisons du silice fusionnée, pratiquement sans impuretés. Ainsi, la lampe ne libère ni ions ni particules pendant son fonctionnement. Le verre standard tend à se déformer sous pression, mais ce matériau reste solide même à des températures extrêmes. Il permet ainsi de maintenir l’étanchéité du système de vide et de garder la zone de chauffage stérile.
Chaleur ciblée, moins de désordre.
Ces lampes utilisent un rayonnement infrarouge à ondes courtes concentré. Le meilleur aspect ? Vous chauffez directement le substrat. Vous ne gaspillez donc pas d’énergie à chauffer l’air ou le châssis de la machine.
C’est très important, car cela évite la formation de courants convectifs gênants. Si vous chauffez trop l’air, vous risquez d’attirer de la poussière vers votre zone de production. Et personne ne veut ça.
Vous pouvez choisir la puissance et la longueur appropriées pour votre installation. Un conseil : ces émetteurs deviennent incroyablement chauds dans une petite zone. Si vous optez pour des modèles à haute puissance, assurez-vous que vos systèmes de refroidissement puissent gérer cela, sinon vous risquez de brûler les prises de la lampe.
Les petits détails importants.
Nous utilisons des connecteurs de précision, car des connexions inefficaces constituent un vrai problème. Elles provoquent des arcs électriques, qui génèrent des micro-particules métalliques. Pour un ingénieur en fabrication de semi-conducteurs, c’est un véritable cauchemar.
Enfin, lorsque vous installez ces lampes, portez des gants sans peluches. Vraiment. Même une simple empreinte digitale laisse derrière elle de l’huile. Une fois que la lampe atteint sa température de fonctionnement, cette huile se dépose dans le quartz, créant un point chaud qui peut endommager la lampe bien avant son temps de vie utile.
Heureusement, ces lampes peuvent remplacer facilement les lampes haut de gamme existantes, donc il est assez simple de les mettre en service.