رفع آلودگی ناشی از ازون در فرآیند خشک کردن با استفاده از لامپهای مادون قرمز
هنگام ساخت نیمههادیها، آخرین چیزی که میخواهیم، فرآیند خشک کردنی است که باعث آسیب به ویفرها شود یا فضای تمیز را به محیطی خطرناک تبدیل کند. به همین دلیل از لامپهای مادون قرمز بدون ازون استفاده میکنیم. این روش به همه کمک میکند تا بدون هیچ مشکلی به استانداردهای مورد نظر دست یابند.
چرا ازون مشکلساز است؟
مشکل اینجاست که لامپهای مادون قرمز استاندارد، تشعشعاتی در محدوده ۱۸۵ نانومتر تا ۲۵۴ نانومتر تولید میکنند. این طول موج، اکسیژن موجود در هوا را تحت تأثیر قرار داده و آن را به ازون تبدیل میکند.
در کارخانههای تولید نیمههادی، ازون یک مشکل بزرگ است؛ زیرا باعث فرسودگی ابزارها شده و هوای محیط را برای افرادی که مشغول استفاده از دستگاهها هستند، خطرناک میکند. هیچ کس چنین چیزی را نمیخواهد.
ما این مشکل را با استفاده از لولههای کوارتزی با پوششهای ویژه برطرف میکنیم. میتوان آنها را مانند فیلترهایی برای طیف VUV در نظر گرفت. با جلوگیری از ورود تشعشعاتی که طول موج آنها کمتر از ۲۰۰ نانومتر است، لامپ همچنان گرمای لازم برای خشک کردن را فراهم میکند، اما واکنش شیمیایی لازم برای تولید ازون را متوقف میکند. ساده است!
تأثیر این روش بر کارخانه شما
بهترین نکته این است که نیازی به سیستمهای تهویه پیچیده برای حذف گازهای آلاینده از هوا نیست. این لامپها فضای کمتری را اشغال میکنند و از هدر رفت انرژی در فرآیندهای تهویه جلوگیری میکنند.
علاوه بر این، این لامپها انرژی را مستقیماً به سطح قطعات منتقل میکنند؛ بنابراین نیازی نیست زمان زیادی را صرف گرم کردن هوای اطراف قطعات کنیم. این همان دلیلی است که این روش برای رزینهای سازگار با محیط زیست و چسبهای بدون سرب بسیار مناسب است.
فقط یک نکته: از آنجایی که ما طیف VUV را فیلتر میکنیم، توزیع انرژی کمی تغییر میکند. ممکن است نیاز باشد سرعت خط تولید یا زمان لازم برای رسیدن به دمای مورد نظر را تنظیم کنید. اگر از خطوط تولید با ظرفیت بالا استفاده میکنید، حتماً سرعت خط تولید را بررسی کنید تا مطمئن شوید همه چیز در مسیر درست قرار دارد.
نحوه نصب
ما این لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوان آنها را به جای لامپهای قدیمی استفاده کرد. اگر از تونلهای مادون قرمز قبلی استفاده میکنید، این لامپها میتوانند به راحتی جایگزین آنها شوند. این لامپها با ولتاژهای صنعتی استاندارد کار میکنند؛ بنابراین میتوانید آنها را به کنترلرهای موجود متصل کرده و شروع به استفاده کنید.
یک نکته مهم: لولههای کوارتزی را تمیز نگه دارید؛ اگر گرد و غبار روی لولهها تجمع کند، مناطق گرمی ایجاد خواهد شد. این موضوع میتواند باعث خراب شدن لامپها شود. لولهها را تمیز نگه دارید تا عمر بیشتری داشته باشند.