گرمایش با امواج مادون قرمز در مقابل گرمایش هوای داغ: دیگر وقت خود را صرف فرآیندهای گرم کردن ویفرها نکنید!
اگر هنوز برای فرآوری نیمههادیها از روش گرمایش هوای داغ استفاده میکنید، در واقع در حال مبارزه با زمان هستید.
مشکل اینجاست که هوا در انتقال گرما عملکرد خوبی ندارد. وقتی از روش گرمایش اجباری استفاده میکنیم، ابتدا باید هوا را گرم کنیم، سپس اتاق کار، و در نهایت ویفر را. این فرآیند بسیار آهسته است؛ این تأخیرها باعث کاهش سرعت تولید میشوند.
حذف واسطهها
به همین دلیل از لامپهای مادون قرمز استفاده میکنیم. به جای انتظار برای گرم شدن هوا، امواج الکترومغناطیسی مستقیماً به سطح ویفر منتقل میشوند.
این روش بسیار سریع است. ما از بازتابندههای ویژهای استفاده میکنیم تا انرژی را درست در جایی که لازم است، متمرکز کنیم؛ در نتیجه، فقط بدنه دستگاه گرم نمیشود. دمای مورد نظر در عرض چند ثانیه حاصل میشود. وقتی دیگر نیازی به انتظار نیست، سرعت تولید افزایش مییابد.
کل موضوع درباره بازتابندههاست
جادوی واقعی در طراحی بازتابندهها نهفته است. اگر از بازتابندههای ارزانقیمت استفاده کنید، در واقع نصف انرژی را هدر میدهید.
ما از پوششهای با بازتابپذیری بالا استفاده میکنیم تا هر فوتون را دوباره به سمت ویفر بفرستیم. این کار باعث ایجاد یک پروفیل گرمایی یکنواخت میشود؛ در نتیجه، ویفر به طور یکنواخت گرم میشود و متخت باقی میماند.
معایب
البته، این روش هم معایبی دارد. لامپهای مادون قرمز دارای دمای بسیار بالایی هستند؛ اگر بازتابندهها کمی نادرست عمل کنند یا فنهای خنککننده نتوانند با بار حرارتی مقابله کنند، لامپها ذوب خواهند شد یا بدنه دستگاه تغییر شکل خواهد داد. بنابراین باید مراقب تعادل بین انرژی تولید شده و سیستم خنککننده باشیم.
واقعیت در عمل
برای کسانی که از سرعت کم فرآیندهای گرمایش هوایی خسته شدهاند، استفاده از لامپهای مادون قرمز راه حل مناسبی است. این روش اندازه ایستگاه گرم کردن را کاهش میدهد و از هدر رفتن وقت جلوگیری میکند.
فقط کافی است آن را به دستگاه متصل کنید، بازتابندهها را تنظیم کنید، و ببینید که زمان لازم برای گرم کردن ویفر چقدر کاهش مییابد.