Calentador de semiconductores controlado por PID

Thu, 25 Jun 2026 00:50:57 +0800

En el taller de fabricación, una desviación de 0,5 °C durante el proceso de secado del fotorrésist es suficiente para convertir toda la producción en material desperdiciado. El secado de los wafers falla en cuanto el perfil térmico ya no puede mantenerse uniforme en toda su superficie. Por eso, desarrollamos calentadores semiconductores controlados por PID, con un sistema de control por infrarrojos que garantiza la estabilidad térmica a nivel del wafer.

Lo que realmente importa Combinamos un emisor de infrarrojos de respuesta rápida con un controlador PID de alta resolución, lo que permite mantener la temperatura de la placa entre ±0,1 °C. Esto asegura perfiles de secado consistentes, tanto en el proceso de secado suave como en el duro, además de garantizar una uniformidad en todo el wafer, lo cual es crucial para mantener bajo control las dimensiones críticas del mismo. El sistema funciona en ambientes de tipo Cleanroom 1–100, y su diseño reduce al mínimo la generación de partículas, evitando el uso de filamentos calientes expuestos y limitando las turbulencias convectivas. En cuanto a la memoria del sistema, el controlador almacena múltiples configuraciones y registra los datos de temperatura, lo que facilita las auditorías sin necesidad de realizar trabajos adicionales.

PID on Warm IR Heater Warehouse

Calentador de semiconductores controlado por PID