Reemplazo de lámpara para stepper Nikon

Tue, 09 Jun 2026 00:36:41 +0800

En la sala de litografía, los pasos de soft bake y hard bake establecen el presupuesto térmico para cada oblea. Una lámpara que deriva aunque sea ligeramente convierte el perfil del fotoresistente en un juego de adivinanzas: la dimensión crítica, el ángulo de la pared lateral y el recuento de defectos varían simultáneamente. El reemplazo de lámpara para stepper Nikon está diseñado para detener esa deriva desde su origen.

Lo que importa técnicamente
Especificamos fuentes halógenas con geometría de filamento precisa y envolventes de cuarzo, para que la salida de radiación se mantenga repetible. Esto proporciona uniformidad térmica a nivel de oblea dentro de ±0.1°C a lo largo de la placa de horneado, manteniendo el flujo del fotoresistente y la extracción del solvente dentro de especificación. El conjunto de lámpara es compatible con sala limpia hasta Clase 1, sin generación de partículas durante el calentamiento ni en estado estable. La estabilidad de salida se mantiene dentro del 0.5% durante más de 5,000 horas, asegurando que la superposición de exposición y la dosis se mantengan constantes lote tras lote.

Nikon on Warm IR Heater Warehouse

Reemplazo de lámpara para stepper Nikon