Trocknen on Warm IR Heater Warehouse

Heizgerät zur Trocknung von MEMS Sensorschichten

Fri, 24 Jul 2026 08:52:47 +0800

Die richtige Trocknung von MEMS-Wafern
Bei der Herstellung von MEMS-Sensoren ist es wichtig, die Feuchtigkeit aus den Wafern zu entfernen. Doch dabei muss man vorsichtig sein – schließlich darf die Waferoberfläche nicht überhitzt werden, sonst verformt sich das Substrat oder es entstehen unerwünschte Rückstände.

Daher kommen unsere Infrarot-Trocknungsheizgeräte zum Einsatz. Wir verwenden Hochleistungsquarzlampen, die die Oberfläche in wenigen Sekunden trocknen können. Das geht wirklich schnell.

Das Gleichgewicht zwischen Leistung und Hitze
Man kann einfach nicht einfach nur die Leistung erhöhen und darauf hoffen, dass alles gut geht. Sonst entstehen Hotspots, die die Wafern zerstören können.

Energieaudit für die Trocknung in der Fabrik

Tue, 21 Jul 2026 01:54:11 +0800

Beendigung des Kontaminationsproblems bei der Trocknung in der Fertigungsstätte
Wenn Sie eine Reinraumumgebung der Klasse 100 betreiben, wissen Sie bereits, wie problematisch das sein kann: Schon ein winziger Staubkorn kann dazu führen, dass die Qualität der Wafers stark abnimmt. Das ist frustrierend. Die meisten Heizelemente sind schuld daran – sie geben Gase ab oder lösen kleine Partikel ab, gerade dann, wenn sie stabil sein sollten.

Deshalb haben wir auf hochreinen synthetischen Quarz für unsere IR-Lampen umgestellt. Dadurch wird dieses Problem vermieden.

Reduzierung des Energieverbrauchs bei der Trocknung in der Fabrik

Mon, 29 Jun 2026 02:06:10 +0800

In der Fertigungshalle bedeutet jeder Joule, der für das Trocknen ausgegeben wird, einen Joule, den man nicht für andere Prozessschritte verwenden kann. Herkömmliche Trocknungsanlagen neigen dazu, wegen des thermischen Verzugs über das gewünschte Niveau hinauszutrocknen – das verschwendet Energie und gefährdet außerdem die Qualität der Photolackschichten. Wir haben eine Trocknungsplattform entwickelt, um diesen Energieverlust zu reduzieren und gleichzeitig eine präzise thermische Kontrolle zu gewährleisten.

Was technisch wichtig ist:
Wir nutzen Mittelwellen-Infrarotstrahler in Kombination mit einer Sensoranordnung aus dünnen Schichten, um die Stabilität des Temperaturwertes auf ±0,1°C zu gewährleisten. Dadurch erhalten Sie wiederholbare Ergebnisse bei der Trocknung sowie eine bessere Kontrolle über die Dicke der Schicht. Die Anlage arbeitet mit 230 V AC, ist kompakt gebaut und die Strahleranordnung ist modulär, sodass man die Module während der Wartung schnell austauschen kann. Die Anlage läuft in einem Reinraumumfeld – Klasse 1–100 – ohne jegliche Partikelbildung, was durch kontinuierliche Überwachung sichergestellt wird. Der Energieverbrauch sinkt, da die Reaktionszeit kurz ist und der Überschuss minimiert wird. Dadurch bleibt das thermische Budget im Rahmen.