Nikon Stepper Lampenwechsel

Tue, 09 Jun 2026 00:36:41 +0800

Auf der Lithografie-Ebene legen die Soft-Bake- und Hard-Bake-Schritte das thermische Budget für jeden Wafer fest. Eine Lampe, die auch nur leicht driftet, macht das Profil des Photoresists zu einem Ratespiel – kritische Dimension, Seitenwandwinkel und Fehleranzahl verändern sich entsprechend. Der Lampenwechsel bei Nikon Steppern ist darauf ausgelegt, diese Drift direkt an der Quelle zu stoppen.

Technisch relevante Aspekte
Wir spezifizieren Halogenquellen mit enger Filamentgeometrie und Quarzhüllen, sodass die Strahlungsleistung reproduzierbar bleibt. Dadurch wird eine thermische Gleichmäßigkeit auf Wafer-Ebene von ±0,1 °C über die Heizplatte gewährleistet, was den Fluss des Photoresists und die Entfernung von Lösungsmitteln im Soll hält. Die Lampenbaugruppe ist für Reinraumumgebungen bis Klasse 1 geeignet und erzeugt während des Aufwärmens und Betriebs keine Partikel. Die Ausgangsstabilität bleibt über 5.000+ Stunden innerhalb von 0,5 %, sodass die Belichtungsüberlagerung und Dosis von Charge zu Charge konstant bleiben.

Schrittmotor on Warm IR Heater Warehouse

Nikon Stepper Lampenwechsel