Infrarot Heizung für LCD Panel Fertigung

Wed, 03 Jun 2026 01:02:30 +0800

Auf einer LCD-Panel-Fertigungslinie ist thermische Drift kein abstraktes Risiko, über das man in Meetings diskutiert. Sie äußert sich als Linienbreitenvariation nach der Belichtung, als Photoresist-Aufschwämmung nach dem Backen und als Ausschussverlust, der im Morgenbericht auftaucht. Die Linie läuft 24/7, und wenn sie stoppt, bleibt der Stillstand nicht lokal – er wirkt sich auf Lithographie, Track und Inspektion aus.

Technisch relevant ist

Wir konstruieren die Infrarot-Heizungen unter Berücksichtigung des thermischen Budgets der Fertigung: ±0,1°C Sollwertstabilität und Wafer-gleichmäßigkeit über das Glassubstrat, damit sich Ihre Softbake- und Hardbake-Profile Chargen für Charge konsistent verhalten. Die Strahlungsquelle ist auf schnelle, saubere Rampen abgestimmt, und das Heizkörpergehäuse ist für den Betrieb in Reinraumklassen 1–100 ausgelegt, ohne Partikel zu erzeugen.

LCD on Warm IR Heater Warehouse

Infrarot Heizung für LCD Panel Fertigung