Sicherheitsabstand bei der Wafererwärmung

Fri, 10 Jul 2026 01:18:27 +0800

Sicherheit bei der Erwärmung von Wafern in empfindlichen Bereichen
Seien wir ehrlich: Die Erwärmung von Wafern in einer chemischen Reinigungszone ist im Grunde genommen wie das Spielen mit Feuer. Wenn brennbare Dämpfe in der Luft schweben, kann ein einziger Funke oder ein thermischer Ausbruch nicht nur zu technischen Problemen führen, sondern auch zu einem Desaster.

Um das zu verhindern, haben wir auf Lampen mit offenen Elementen verzichtet. Stattdessen verwenden wir eingehüllte Infrarot-Systeme. So funktioniert das in der Praxis:

Wafernoxidierungsheizelement

Wed, 17 Jun 2026 10:54:47 +0800

In der Fertigungshalle legt das thermische Budget des Oxidationsofens die Grundlage für die Integrität des Gate-Oxids auf der gesamten Waferoberfläche fest. Schon eine Abweichung von 1 °C reicht aus, um eine hochwertige Wafercharge in Schrott zu verwandeln. Wir haben unsere Heizelemente für die Oxidation der Wafers so konzipiert, dass diese Unregelmäßigkeiten eliminiert werden.

Was technisch wichtig ist
Im Zentrum der Konstruktion befindet sich ein Array aus Quarz-Halogenlampen, die kurzwellige Energie direkt in den Wafer bringen. Dadurch wird eine Temperaturhomogenität von ±0,1 °C innerhalb der Verarbeitungszone erreicht.

Heizen on Warm IR Heater Warehouse

Sicherheitsabstand bei der Wafererwärmung

Wafernoxidierungsheizelement