Heizer für den Prozess der Herstellung von Solid State Batterien

Thu, 18 Jun 2026 00:36:17 +0800

Bei der Herstellung von Solid-State-Batterien ist eine genaue Temperaturregelung unerlässlich – genauso wie bei den Toleranzen der Wafer. Selbst geringfügige Abweichungen bei der Wärmeeinwirkung oder kühle Stellen auf dem Substrat können dazu führen, dass die Leistungsfähigkeit der Batterien sinkt und in den Übergangsschichten Defekte entstehen. Wir haben diesen Heizer entwickelt, um sicherzustellen, dass jede Schritt im Prozess innerhalb der vorgegebenen Temperaturgrenzen bleibt.

Was technisch wichtig ist: Wir nutzen Kurzwellen-Infrarotstrahlung sowie schnell reagierende Quarzemitter, um die Wärme direkt ins Substrat zu leiten. In der aktiven Zone bleibt die Homogenität des Substrats bei ±0,1 °C, und die Wiederholgenauigkeit zwischen den einzelnen Prozessschritten liegt bei unter ±0,5 °C. Das System kann in Reinräumen der Klasse 1–100 betrieben werden, ohne dass Partikel entstehen. Die Profile des Fotolacks bleiben von der Anfangsbehandlung bis zur Endbehandlung konstant, und die Aushärtungszeiten werden mit Millisekundenpräzision gesteuert – es gibt keine Abweichungen durch lange Anlaufzeiten.

Batterie on Warm IR Heater Warehouse

Heizer für den Prozess der Herstellung von Solid State Batterien