Trên sàn lithography, các bước soft bake và hard bake thiết lập ngân sách nhiệt cho mỗi wafer. Một bóng đèn dù chỉ lệch nhẹ cũng khiến cấu hình photoresist trở thành bài toán suy đoán—kích thước đặc trưng, góc thành bên và số lượng khuyết tật đều dao động theo. Thay bóng đèn stepper Nikon được thiết kế để ngăn chặn sự lệch này ngay từ khi nó bắt đầu.
Điều quan trọng về mặt kỹ thuật
Chúng tôi chỉ định nguồn halogen với cấu hình filament chặt chẽ và vỏ thạch anh, nhằm giữ cho đầu ra bức xạ ổn định. Điều này đảm bảo tính đồng đều nhiệt ở cấp wafer trong phạm vi ±0.1°C trên toàn bộ đĩa nung, giữ cho dòng chảy photoresist và việc loại bỏ dung môi trong giới hạn cho phép. Bộ bóng đèn tương thích trong phòng sạch đến cấp Class 1, không tạo hạt trong suốt quá trình làm nóng lên và khi đạt trạng thái ổn định. Độ ổn định đầu ra duy trì trong vòng 0.5% sau hơn 5.000 giờ hoạt động, giúp giữ độ chồng hình và liều lượng phơi sáng đồng đều giữa các lô.
Lý do nó hoạt động trong thực tế là: các stepper Nikon cần đầu ra bóng đèn ổn định để bảo vệ độ chính xác chồng hình và duy trì tốc độ sản xuất. Bóng thay thế này tương thích với quang trình và hồ sơ nhiệt của OEM, do đó bạn không mất cửa sổ xử lý trong các bước soft bake, hard bake hoặc post-exposure bake. Bạn giữ được kiểm soát kích thước đặc trưng photoresist, giảm cặn và bẩn, đồng thời giảm thời gian ngừng máy không kế hoạch do lệch bóng đèn và hỏng sớm. Mức tiêu thụ năng lượng được tối ưu hóa, và chu kỳ bảo trì dài hơn giảm tần suất PM mà không đánh đổi tính lặp lại nhiệt.
Một số điểm cần lưu ý.
Việc lắp đặt đòi hỏi phải phù hợp đầu nối chân đế, xác định vị trí cung hồ quang chính xác và kiểm tra lưu lượng cũng như lọc dung dịch làm mát. Tính đồng đều giữa các lần chạy phụ thuộc vào điều kiện phản xạ và hiệu chuẩn cảm biến nhiệt độ đĩa nung — coi chúng như một hệ thống đồng bộ.
Lên kế hoạch nung thử cách ly ngắn trên lô wafer đầu tiên sau khi thay thế. Điều này sẽ thiết lập lại dấu nhiệt và xác nhận các thiết lập liều lượng cùng tiêu điểm đúng như yêu cầu.