فیبرک فلور پر، سافٹ بیک آون فارم مسلسل کام کرتا رہتا ہے، لیکن حرارتی مشکلات عموماً تھرمل اینالائزر کے اندر موجود ہیٹنگ لیمپ سے پیدا ہوتی ہیں۔ فوٹوریزسٹ کو بیک کرنے کے دوران لیمپ کی روشنی میں 2°C کی تبدیلی بھی، کریٹیکل ڈائمینشنز کو نینومیٹر کی سطح پر تبدیل کر سکتی ہے – اور یہی وہ وقت ہے جب پروسیس رک جاتا ہے۔ ہم نے تھرمل اینالائزر کے ہیٹنگ لیمپ کو ایسے ہی ڈیزائن کیا ہے کہ اس طرح کی غیر یقینی صورتحالوں سے بچا جا سکے۔
تکنیکی اعتبار سے کیا اہم ہے؟
یہ لیمپ نیئر-اینفراریڈ (NIR) شارٹ-ویو انرجی پر کام کرتا ہے، اور قوارتز کے ذریعہ تیز اور درست حرارتی منتقلی ممکن ہوتی ہے۔ یہ 300–600°C کے درمیان کام کرنے کے لئے ڈیزائن کیا گیا ہے، اور یہ بیکنگ زون میں ±0.1°C کی سطح پر یکسانیت برقرار رکھتا ہے۔ بجلی، معیاری ہائی-ٹمپریچر کنکٹر کے ذریعہ فراہم کی جاتی ہے، جس سے آلات کو نقصان نہیں پہنچتا۔
ہم نے فلامنٹ کی ساخت اور ریفلیکٹر کے راستے کو ایسے ڈیزائن کیا ہے کہ حرارتی تفاوت کم ہو، تاکہ سینٹر سے کنارے تک حرارتی توازن قائم رہے۔ اس طرح کوئی حیرانی نہیں ہوتی، اور حرارتی سطح مستقل رہتی ہے۔
لیتھوگرافی میں اس کی اہمیت کیا ہے؟
لیتھوگرافی میں، سافٹ بیک اور ہارڈ بیک کے مراحل فوٹوریزسٹ کی خصوصیات کو متعین کرتے ہیں۔ درجہ حرارت کی استقامت ہی وہ چیز ہے جو CD کو کنٹرول میں رکھتی ہے، اور پروڈکشن کو بہتر بناتی ہے۔ یہ لیمپ کلاس 1–100 کے کلین رومس کے لئے موزوں ہے، اور ہاٹ زون میں کوئی ذرہ پیدا نہیں ہوتا – جس سے دوشوں کی تعداد کنٹرول میں رہتی ہے۔
یہ لیمپ روزانہ پروڈکشن میں استعمال ہوتا ہے، اور 5,000 گھنٹوں سے زیادہ استعمال کے بعد بھی اس کی کارکردگی مستقل رہتی ہے، اور اس کی شدت میں 5% سے کم کمی ہوتی ہے۔ لیمپ کی تبدیلی کی ضرورت کم ہوتی ہے، بندش کا وقت کم ہوتا ہے، اور ہر ویفر اور ہر بیچ کے لئے حرارتی پروفائل مستقل رہتا ہے۔
منصوبہ بندی کے لئے ضروری تفصیلات:
لیمپ کے لئے ایک الگ پاور سپلائی کی ضرورت ہے، جس میں کرنٹ کنٹرول بھی ہو۔ اگر آپ پرانے اینالائزرز کو اپ گریڈ کر رہے ہیں، تو معمولی مکانی ترمیمات کی ضرورت پڑ سکتی ہے۔ جب چیمبر کی ایمیسٹی کنٹرول میں رہتی ہے، اور لیمپ کو باقاعدگی سے ریکیلیبریٹ کیا جاتا ہے، تو بہترین کارکردگی حاصل ہوتی ہے۔
اسے اپنے پریونٹیو مینٹیننس کے وقت کے ساتھ ہی استعمال کریں، اور یقین کریں کہ لیمپ کی سیٹنگ آپ کے SOP کے مطابق ہے۔