فیبریکیشن لینڈ پر، خشک کرنے کے لئے جو بھی توانائی استعمال کی جاتی ہے، وہ توانائی اس عمل میں استعمال نہیں کی جاسکتی۔ روایتی ڈرائرز، حرارتی تاخیر کو دور کرنے کی کوشش میں زیادہ توانائی خرچ کرتے ہیں، جس سے توانائی ضائع ہوتی ہے، اور فوٹوریزسٹ کی کوالٹی بھی متأثر ہوتی ہے۔ ہم نے ایسا ڈرائنگ پلیٹ فارم تیار کیا ہے جس سے توانائی کی بچت ہوتی ہے، اور لیتھوگرافی کے معیارات برقرار رہتے ہیں۔
تکنیکی اعتبار سے کیا اہم ہے؟
ہم مڈ-ویو انفراریڈ ایمیٹرز کا استعمال کرتے ہیں، جن کے ساتھ تھنک-فلم سینسرز بھی ہوتے ہیں؛ اس سے ویفر کے درجہ حرارت کو ±0.1°C کے اندر برقرار رکھا جاسکتا ہے۔ اس سے یکساں پروفائل حاصل کیا جاسکتا ہے، اور CD کنٹرول بھی بہتر ہوتا ہے۔ یہ آلہ 230 VAC پر کام کرتا ہے، اس کا سائز چھوٹا ہے، اور ایمیٹرز کو تبدیل کرنا آسان ہے۔ کلین روم میں اس کا استعمال ممکن ہے؛ کلاس 1–100 میں کام کرتا ہے، اور کوئی ذرہ پیدا نہیں ہوتا۔ توانائی کی کھپت کم ہوتی ہے، کیوں کہ ردِعمل تیز ہے، اور ضرورت سے زیادہ توانائی خرچ نہیں ہوتی۔
عملی طور پر یہ کیوں کارگر ہے؟
خشک کرنے کا مطلب صرف حلوں کو نکالنا نہیں، بلکہ ایکسپوژر سے پہلے فلم کو مستحکم کرنا بھی ہے۔ اس پلیٹ فارم کی بدولت، ہر بیچ میں توانائی کی کھپت کم ہوتی ہے، اور ویفر کی یکسانیت برقرار رہتی ہے۔ اس سے کناروں پر موجود ناخالصیاں کم ہوتی ہیں، جس سے ویسٹ اور دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہوتی ہے۔ ہم نے دیکھا کہ یہ 24/7 کام کرنے والی لائنوں میں بھی کام کرتا ہے، اور مختلف پروڈکٹس میں بھی یکساں کارکردگی دیتا ہے۔
آپ کو پہلے ہی کیا جاننا ضروری ہے؟
ریٹروفٹ کے لئے، موجودہ ٹریک انٹرفیس کے ساتھ ہم آہنگی ضروری ہے، اور ایگزوسٹ امپیئر کی تصدیق بھی ضروری ہے۔ PID میپ کو چیمبر کی ساخت اور حلوں کی مقدار کے مطابق ایڈجسٹ کرنے کے لئے تھوڑا وقت درکار ہے۔ ایک بار یہ ترتیب دے دیا جائے، تو یہ ایک بہترین، توانائی کی بچت والا حل ہوگا، جو بین الاقوامی معیارات پر پورا اترتا ہے، اور پرانے ڈرائنگ ماڈیولز کا متبادل بھی ہے۔