فیبرک فلور پر، فوٹو ریزسٹ کو نرم بیک کرنے کے دوران 0.5°C کا فرق بھی پوری مصنوعات کو بیکار بنانے کے لئے کافی ہے۔ جب حرارتی پروفائل پوری سطح پر یکساں نہیں رہتا، تو ویفر خشک نہیں ہو پاتا۔ اس مسئلے کو حل کرنے کے لئے ہم نے PID-کنٹرولڈ سیمی کنڈکٹر ہیٹرز استعمال کئے، تاکہ ویفر کی سطح پر حرارتی استحکام برقرار رہ سکے۔
جو چیزیں اہم ہیں: ہم نے تیز ردِعمل والے انفراریڈ ایمیٹر کو اعلیٰ ریزولوشن والے PID کنٹرولر کے ساتھ استعمال کیا، تاکہ پلیٹ کا درجہ حرارت ±0.1°C پر برقرار رہے۔ اس سے سافٹ بیک اور ہارڈ بیک کے دوران یکساں نتائج حاصل ہوتے ہیں، اور ویفر کی سطح پر حرارتی استحکام برقرار رہتا ہے۔ یہ سسٹم کلین روم کلاس 1–100 کے معیارات پر کام کرتا ہے، اور ڈیزائن کی بدولت غیرضروری ذرات کی پیداوار صفر کے قریب رہتی ہے۔ کنٹرولر، مختلف پروسیسوں کی معلومات کو ذخیرہ کرتا ہے، تاکہ آڈٹ کرنے میں کوئی پریشانی نہ ہو۔
لیتھوگرافی اور خشک کرنے کے عمل میں اس کی اہمیت: لیتھوگرافی میں، فوٹو ریزسٹ کی چپچپاہٹ کو کنٹرول کرنے اور سولوونٹس کو خارج کرنے کے لئے یکساں حرارتی شرائط ضروری ہیں۔ ویفر کو خشک کرنے کے لئے بھی کنٹرولڈ حرارت ضروری ہے، تاکہ صفائی کے عمل میں کوئی رکاوٹ نہ آئے۔ ہمارا انفراریڈ PID طریقہ، تیز ردِعمل کے ساتھ یکساں نتائج فراہم کرتا ہے، جس سے پروسیس کا وقت کم ہوتا ہے، اور بیکار مصنوعات کی مقدار بھی کم ہو جاتی ہے۔ توانائی کی کھپت بھی کم ہوتی ہے، کیوں کہ حرارت صرف ضرورت کے وقت ہی فراہم کی جاتی ہے، نہ کہ مسلسل۔ سسٹم شفٹ بہ شفٹ بغیر کسی رکاوٹ کے کام کرتا رہتا ہے۔
وہ سیٹ اپ جسے نظرانداز نہیں کیا جاسکتا: انفراریڈ ہیٹرز کے لئے درست الائنمنٹ اور صاف آپٹیکل راستہ ضروری ہے، تاکہ سسٹم مستحکم رہ سکے۔ PID پیرامیٹرز کو اپنے بوجھ اور حرارتی خصوصیات کے مطابق ایڈجسٹ کرنے کے لئے کچھ وقت درکار ہے، اور یہ بھی ضروری ہے کہ آپ کا ٹول انٹرفیس ہیٹر کے کنیکٹر اور کنٹرول سگنلنگ سے مطابقت رکھتا ہو۔ یکساں الائنمنٹ کے بعد ہی سسٹم صحیح طرح کام کرتا ہے۔