На виробничій лінії температурний режим печі для оксидування визначає параметри якості оксидного шару на всій поверхні чипа. Достатньо лише 1°C зміщення температури, щоб хороший продукт перетворився на непридатний до використання. Ми створили спеціальний елемент нагріву для оксидування чипів, який дозволяє усунути таку нестабільність.
Що є важливим з технічної точки зору
Основою конструкції є сукупність кварцово-галогенних ламп, які направляють короткохвильову енергію прямо на поверхню чипа. Це забезпечує однорідність температури на всій поверхні чипа – ±0,1°C.
На рівні технологій менше 10 нм цей параметр має вирішальне значення. Якість фотополімеру та ефективність процесу етchingу залежать безпосередньо від точності температурного режиму. Наш елемент забезпечує стабільність температури протягом усього часу роботи, без будь-яких перешкод – без утворення частинок, що підтверджується у умовах чистої кімнати класу 1.
Чому цей елемент підходить для виробництва
Він допомагає подолати проблеми, пов’язані з якістю продукту під час процесів літографії та етchingу. Коли температурний режим є стабільним та передбачуваним, товщина фотополімеру залишається однорідною після процедури обробки, що усуває проблеми з рівністю поверхні чипа під час етchingу.
Це призводить до меншої кількості необхідних корекцій та до підвищення кількості чипів, які можна отримати з однієї маски. Також досягається краща енергоефективність, що знижує витрати на експлуатацію, не скорочуючи при цьому швидкість виробництва.
Що потрібно врахувати під час планування
Цей елемент може бути встановлений на існуючі платформи печей, але для його правильної роботи потрібен окремий джерело живлення та система керування. Короткохвильовий профіль енергії ідеально підходить для швидкої термічної обробки, але вирівнювання елемента щодо поверхні чипа мусить бути максимально точним – будь-яке зміщення може призвести до утворення локальних „гарячих точок“.
Ми проводимо випробування на місці, щоб точно налаштувати температурний профіль відповідно до вашого процесу виробництва, щоб результати залишалися стабільними з кожною партією продукції.