Зменшення викидів вуглецю в чистих приміщеннях: чому ми переходимо на інфрачервоне нагрівання
Підтримання правильної температури всередині приміщення для обробки напівпровідників є складною задачею. Зазвичай люди використовують традиційні елементи нагріву на основі резистивних матеріалів чи конвекційні печі. Ці пристрої, звісно, функціонують, але є дуже неефективними з точки зору витрат енергії.
Ми почали використовувати елементи нагріву на основі короткохвильового інфрачервоного випромінювання. Це проста заміна, але вона значно покращує ефективність використання енергії.
Не потрібно нагрівати повітря
Конвекційне нагрівання є неефективним – воно намагається нагріти кожну молекулу азоту чи аргону в приміщенні, щоб нагріти об’єкт обробки. Це означає великі втрати енергії.
Інфрачервоне нагрівання працює інакше – воно використовує випромінювання для безпосереднього нагріву об’єкта. Не потрібно боротися з атмосферою в приміщенні – енергія потрапляє саме туди, де її потрібно. Коли ми підбираємо потужність та напругу відповідно до маси пластини, час нагріву значно скорочується. Це дуже швидко. А це означає менше витрат енергії на одиницю продукції.
Деталі щодо пристроїв
Ці елементи виготовляються з кварцевих труб високої чистоти. Щоб зробити їх ще ефективнішими, ми використовуємо спеціальні покриття. Це дозволяє зосередити енергію саме на поверхні об’єкта обробки, щоб вона не відбивалась від стін приміщення.
Оскільки ми використовуємо стандартні промислові з’єднувачі, їх можна просто встановити у вашу існуючу систему.
Однак є одна умова: ці пристрої мають високу потужність у невеликому просторі. Через це не можна економити на кабелях – якщо їх діаметр занадто малий, виникнуть падіння напруги. Це призведе до нерівномірного нагріву, що є останнім, чого хочеться.
Справжня перевага
Найкраще полягає не в самому нагрівачі, а у тому, що відбувається з рештою приміщення. Оскільки не потрібно нагрівати повітря всередині приміщення, системи охолодження можуть нарешті відпочити. Не потрібно боротися з перепадами температур. Саме так і відбувається зменшення викидів вуглецю. Це не пов’язано з якимись „зеленими“ термінами чи складними пристроями – це просто питання зменшення втрат енергії в усій системі.