На лінії обробки пластин діаметром 300 мм залишки флюксу після формування виступів на поверхні пластини є не просто джерелом забруднення. Це своєрідна „бомба ненадійності“, яка може спричинити серйозні проблеми. Неповне випаровування флюксу призводить до утворення порожнин та з’єднань між елементами пластини; в результаті підвищується кількість відходів, а температурний режим виходить за межі допустимих значень. Ми створили цю систему для того, щоб усунути ці проблеми на самому початку процесу.
Що насправді має значення Цей пристрій забезпечує швидке та контрольоване випаровування флюксу за допомогою короткочастотного інфрачервоного випромінювання. Він зберігає постійну температуру на всій поверхні пластини – приблизно ±0,1°C. Кварцеві емітери забезпечують чисте, безчастинкове нагрівання, а система відведення газів сумісна з умовами чистої кімнати класу 1–100. Таким чином, забезпечується відсутність забруднень у камері.
Кожен цикл обробки передбачає точний контроль температури та часу. Ізоляція з вуглецевих волокон зменшує втрати енергії та забезпечує стабільність параметрів навіть під час високої продуктивності.
Чому це ефективно в реальних умовах Чи йдеться про сушку пластин, літографію чи процедуру пакування – вимоги завжди однакові: необхідний точний температурний контроль, який не буде заважати процесу виробництва. Ця система може бути використана безпосередньо на лініях обробки, дозволяючи точно усувати флюкс без пошкодження металізації під виступами на поверхні пластини.
Процес обробки фоточутливих матеріалів відбувається в межах допустимих значень, цикли очищення та сушіння відбуваються швидше, а кількість необхідних корекцій зменшується. Витрати енергії також знижуються, оскільки система нагрівається лише тоді, коли це необхідно, та зберігає стабільні параметри. Таким чином можлива цілодобова робота без необхідності постійного технічного обслуговування.
Практичні деталі, які потрібно врахувати Розміри пристрою компактні, але необхідно забезпечити правильну організацію системи відведення газів, чисте сухе повітря та стабільну напругу. Процес налаштування триває недовго, але потрібно врахувати особливості конкретного складу флюксу та структури пластини.
Як тільки все налаштовано, ризик утворення порожнин та залишків флюксу зменшується. Якщо флюкс підібраний правильно, результати будуть задовільними.