Sabit durumlu batarya üretiminde, bataryaların termal kontrolü de, onları oluşturan yongaların toleransları kadar hassas olmalıdır. Eğer ısıtma işlemi biraz bile yanlış yapılırsa veya substrat üzerinde soğuk bölgeler oluşursa, litografi sürecinde sorunlar ortaya çıkar ve arayüz katmanlarında kusurlar meydana gelir. Biz bu sabit durumlu batarya üretim ısıtıcısını, her adımın belirlenen termal sınırlar içinde kalmasını sağlamak için tasarladık.
Teknik açıdan önemli olanlar Isıyı doğrudan substrata iletmek için hızlı tepki veren kuvars emisyon cihazları kullanılır. Aktif bölgede yonga seviyesindeki düzenlilik ±0,1°C civarındadır ve her işlem arasındaki tekrarlanabilirlik ise ±0,5°C’nin altındadır. Sistem, parçacık üretmeden Class 1–100 temiz odalarında çalışır ve bunu yerinde test ederiz. Fotoresist profilleri, yumuşak pişirme işleminden sert pişirme işlemine kadar tutarlı kalır ve kuruma süreleri milisaniye düzeyinde kontrol edilir; uzun süreli işlemlerden kaynaklanan sapmalar olmaz.
Neden sabit durumlu batarya üretiminde kullanılır? Bu süreçte, yonga kurutma, fotoresistin önceden ısıtılması ve arayüz katmanlarının kurutulması işlemleri ardışık olarak gerçekleşir. Kızılötesi ışınlar, bekleme sürelerini azaltarak işlem süresini kısaltır ve kapalı döngü kontrolü, kritik boyutların belirlenen sınırlar içinde kalmasını sağlar. Böylece daha iyi boyut kontrolü elde edilir, daha az yeniden işlem gerekliliği olur ve enerji tüketimi azalır; çünkü enerji, odanın kendisine değil, film ve substrata gitmektedir. İşlem süreleri artar ve verimlilik öngörülebilir hale gelir.
Önceden bilmeniz gerekenler Entegrasyon oldukça basittir, ancak emisyon cihazları ile substrat arasındaki mesafenin doğru şekilde ayarlanması gerekir; düzenlilik burada belirlenir. Belirli bir batarya yapısı için gerekli olan ayarların yapılması için kısa bir test süresi gereklidir. Emisyon cihazları, minimum çıkış sapmasıyla 5.000 saatten fazla çalışabilir ve sıcaklık tekrarlanabilirliğini korumak için her 2.000 saatte bir kalibrasyon yapılır.