Üretim alanında, kurutma işlemi için harcadığınız her joule, işlem sonuçları için kullanılamayan bir jouledir. Geleneksel kurutucular, termal gecikmeyi telafi etmek amacıyla aşırı enerji tüketme eğilimindedir; bu da enerji israfına yol açar ve foto direnç profillerini riske atar. Bu israfı azaltmak ve yine de litografi standartlarında bir termal kontrol sağlamak için bir kurutma platformu geliştirdik.
Teknik açıdan önemli olanlar:
Orta dalga boyundaki kızılötesi ışınlayıcılar kullanıyoruz ve kapalı döngülü ince film sensörleri sayesinde wafer üzerindeki sıcaklık değerlerini ±0,1°C aralığında sabit tutabiliyoruz. Bu sayede tekrarlanabilir soft bake ve hard bake işlemleri mümkün oluyor ve CD kontrolü daha hassas hale geliyor. Cihaz 230 VAC geriliminde çalışır, kompakt yapıdadır ve ışınlayıcı dizisi modüler olduğundan bakım sırasında modüller hızlıca değiştirilebilir. Temiz oda koşulları da mevcuttur: Sınıf 1–100 koşullarında çalışır ve parçacık üretimi yoktur; bu durum online izleme ile doğrulanmıştır. Hızlı tepki süresi ve minimum aşırı ısınma nedeniyle enerji tüketimi düşer; böylece termal bütçeniz korunmuş olur.
Neden pratikte işe yarıyor?
Kurutma işlemi sadece çözücülerin uzaklaştırılmasıyla ilgili değildir. Asıl amaç, maruz kalma işleminden önce ve izler oluşmadan önce filmin stabil hale getirilmesidir. Bu platform sayesinde enerji tüketimini azaltırken işlem hassasiyetini koruyorsunuz. Wafer seviyesindeki eşitlik, kenar bölgelerindeki sorunları ve artıkları azaltmaya yardımcı olur; bu da daha az atık ve yeniden işleme gerektirir. Bu sistem, 24/7 çalışan hatlarda da başarıyla kullanılmıştır ve çok vardiya sistemlerinde bile planlanmayan arızalar yaşanmamıştır. Ayrıca, tekrarlanabilir kurutma profilleri sayesinde farklı ürünler ve üretim süreçleri için standartlar sağlanmış olur.
Önceden bilmeniz gerekenler:
Yenileme işlemi, mevcut arayüzle uyumlu hale getirilmesi ve egzoz akımının doğrulanmasıyla ilgilidir. PID ayarlarını odanın geometrisine ve çözücü miktarına göre ayarlamak için kısa bir hazırlık süresi gerekmektedir. Bu ayarlar yapıldıktan sonra, uluslararası ekipman standartlarına uygun, enerji verimli bir çözüm elde edilmiş olur. Ayrıca bu sistem, eski kurutucu modülleri için de geçerli bir alternatif oluşturur.