บนสายการผลิตแผง LCD การลอยตัวของอุณหภูมิไม่ใช่ความเสี่ยงนามธรรมที่ถกเถียงกันในที่ประชุม แต่จะปรากฏเป็นความแปรผันของความกว้างเส้นหลังการเปิดรับแสง เป็นการสะสมของโฟโตรีซิสต์หลังการอบ และเป็นการสูญเสียผลผลิตที่ปรากฏในรายงานตอนเช้าของคุณ คุณดำเนินงานตลอด 24 ชั่วโมง และเมื่อสายการผลิตหยุดทำงาน การหยุดนั้นจะไม่หยุดอยู่เพียงจุดเดียว แต่จะลามไปยังขั้นตอนลิโธกราฟี ระบบติดตาม และการตรวจสอบ
สิ่งที่สำคัญในเชิงเทคนิค
เราออกแบบฮีตเตอร์อินฟราเรดโดยยึดตามงบประมาณความร้อนของโรงงาน: ความเสถียรของจุดตั้งค่า ±0.1°C และความสม่ำเสมอในระดับเวเฟอร์ทั่วทั้งวัสดุแก้ว เพื่อให้โปรไฟล์การอบแบบ soft bake และ hard bake คงที่ต่อเนื่องในแต่ละล็อต แหล่งรังสีถูกปรับให้เหมาะกับการเพิ่มอุณหภูมิอย่างรวดเร็วและสะอาด และตัวฮีตเตอร์ถูกสร้างขึ้นเพื่อการใช้งานในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 โดยไม่เพิ่มอนุภาค
คุณต้องการความน่าเชื่อถือ 24/7 โดยไม่มีเวลาหยุดทำงานโดยไม่คาดคิด ซึ่งหมายความว่าส่วนประกอบต้องระบุสเป็กสำหรับการใช้งานอย่างต่อเนื่อง ไม่ใช่การใช้ในห้องทดลองเป็นครั้งคราว รวมถึงอายุการใช้งานที่ยาวนานในสภาพแวดล้อมจริงบนชั้นผลิต
เหตุผลที่ระบบนี้เหมาะกับโรงงานผลิตแผง LCD
ในโรงงานผลิตแผง เวลาทำงานต่อเนื่องคือเป้าหมายหลัก การควบคุมอุณหภูมิอย่างเข้มงวดช่วยลดข้อบกพร่องของโฟโตรีซิสต์ที่เกิดจากความผันผวนของอุณหภูมิ ซึ่งส่งผลดีต่อการควบคุมมิติเชิงวิกฤติและป้องกันการเกิดของเสียในกระบวนการ
การตอบสนองทางความร้อนที่รวดเร็วช่วยลดเวลารอบการผลิตโดยไม่ทำลายโปรไฟล์การอบ และการส่งกำลังที่มั่นคงช่วยลดพลังงานที่สูญเสียไปกับการเกินเป้าหมายและการทำงานซ้ำ การบำรุงรักษาน้อยลงหมายถึงตารางเวลาการผลิตจะดำเนินไปตามแผน ไม่ขึ้นกับอะไหล่สำรองที่ใกล้ที่สุด
สิ่งที่ต้องตั้งค่าให้ถูกต้อง
ฮีตเตอร์เหล่านี้สามารถติดตั้งได้อย่างสะอาด แต่การจัดตำแหน่งกับวัสดุรองรับและทางระบายอากาศต้องเคร่งครัด ตรวจสอบอินเทอร์เฟซเครื่องจักร ความคลาดเคลื่อนในการติดตั้ง และการไหลของอากาศก่อนติดตั้ง มิฉะนั้นจะเสี่ยงต่อการเกิดจุดร้อนและการสะสมของวัสดุบนควอตซ์หรือหน้าต่าง
กำหนดสเป็กกำลังไฟและแรงดันให้ตรงกับตู้และภาระความร้อนของคุณ สภาพการจ่ายไฟที่ไม่ตรงกันจะทำลายความสามารถในการทำซ้ำ แม้การออกแบบหลักจะมั่นคงก็ตาม