Na linii produkcyjnej, nawet 0,5°C różnicy temperatury podczas procesu delikatnego suszenia fotorezystu wystarcza, aby cała partia produktu stała się bezużyteczna. Suszenie płytek krzemowych nie przebiega sprawnie, gdy profil termiczny nie jest stały na całej powierzchni. Stworzyliśmy grzania na podczerwień sterowane za pomocą systemu PID, aby zminimalizować takie wahania, a także zapewnić stabilność termiczną na poziomie pojedynczych płytek.
Co jest najważniejsze? Kombinujemy szybko reagujący emiter podczerwieni z kontrolerem PID o wysokiej rozdzielczości, co pozwala utrzymać temperaturę płytki na poziomie ±0,1°C. Dzięki temu uzyskujemy spójne profile suszenia, a także jednorodność temperatury na całej powierzchni płytki, co umożliwia precyzyjną kontrolę jej wymiarów. System nadaje się do pracy w salach czystych klasy 1–100. Jego konstrukcja eliminuje powstawanie cząstek pyłu poprzez brak odsłoniętych żarników oraz ograniczenie turbulentności konwekcyjnej. Kontroler przechowuje informacje o różnych procesach suszenia oraz logi temperatury – co ułatwia audyt i nie wymaga dodatkowej pracy.
Dlaczego to jest ważne w litografii i suszeniu? W litografii konieczny jest spójny proces delikatnego suszenia, aby ustalić właściwości lepkości fotorezystu i usunąć rozpuszczalniki bez powstawania warstwy na powierzchni płytki. W suszeniu płytek krzemowych potrzebna jest kontrolowana temperatura, aby usunąć środki czyszczące i zapobiec ponownemu osadzaniu się substancji na powierzchni płytki. Nasze rozwiązanie oparte na technologii podczerwieni i kontrolerze PID zapewnia taką spójność, a także szybką zmianę wartości temperatury, dzięki czemu czasy obróbki maleją, a ilość odpadów również. Zużycie energii jest mniejsze, ponieważ ciepło jest dostarczane tylko w razie potrzeby, a system może pracować bez przerwy przez wiele godzin bez nieplanowanych przerw.
Konfiguracja, której nie można pominąć Grzające elementy podczerwieni wymagają precyzyjnego ustawienia oraz czystej ścieżki optycznej, aby zachować stabilność. Należy przeznaczyć trochę czasu na kalibrację parametrów PID dostosowanych do rzeczywistego obciążenia i masy cieplnej, a także upewnić się, że interfejs urządzenia jest zgodny z konektorami i sygnałami sterującymi grzałek. Gdy wszystko jest dobrze skonfigurowane, urządzenie funkcjonuje prawidłowo – ale ten krok konfiguracji jest niezbędny.