Di fasiliti pengeringan ini, setiap joule tenaga yang digunakan untuk proses pengeringan merupakan joule yang tidak boleh digunakan untuk tujuan lain. Pengering tradisional cenderung untuk menggunakan lebih banyak tenaga untuk mengimbangi kelewatan pemindahan haba, dan ini akan menyebabkan pembaziran tenaga serta membahayakan kualiti lapisan photorest yang digunakan. Kami telah mencipta platform pengeringan yang dapat mengurangkan pembaziran tenaga tersebut sambil tetap memastikan kawalan suhu yang tepat.
Apa yang penting dari segi teknikal
Kami menggunakan pemancar gelombang inframerah jarak sederhana, bersama-sama dengan susunan sensor berlapis nipis, untuk mengekalkan ketekalan suhu pada tahap ±0.1°C pada permukaan wafer. Ini membolehkan proses pengeringan yang konsisten, serta kawalan yang lebih baik terhadap ketepatan ukuran wafer. Unit ini beroperasi pada voltan 230 VAC, memiliki saiz yang kompak, dan susunan pemancarnya boleh ditukar dengan cepat semasa penyelenggaraan. Sistem ini juga mematuhi standard bilik bersih kelas 1–100, tanpa penghasilan zarah debu sama sekali, sebagaimana yang disahkan melalui pemantauan secara berterusan. Penggunaan tenaga juga dikurangkan kerana tindak balasnya yang cepat dan kekurangan kelewatan dalam proses pengeringan, sehingga bajet tenaga dapat dijimatkan.
Mengapa ia berkesan dalam praktik
Proses pengeringan bukan sekadar tentang mengeluarkan bahan pelarut. Ia juga bertujuan untuk menstabilkan lapisan yang digunakan sebelum proses pendedahan berlaku. Dengan platform ini, kita dapat mengekalkan kualiti proses pengeringan sambil mengurangkan penggunaan tenaga. Keseragaman pada permukaan wafer membantu mengurangkan masalah seperti gelembung udara atau sisa-sisa bahan pelarut, sehingga mengurangkan jumlah bahan yang perlu dibuang atau diproses semula. Kami telah melihat bahawa platform ini mampu berfungsi dengan baik dalam operasi 24/7, tanpa sebarang gangguan, dan konsistensi proses pengeringan memastikan kualiti produk yang lebih baik.
Apa yang perlu diketahui terlebih dahulu
Proses penyesuaian sistem ini melibatkan penyesuaian antaramuka sistem yang ada dan pengesahan arus yang diperlukan untuk proses pengeringan. Anda perlu menunggu sedikit masa untuk menyesuaikan parameter PID agar sesuai dengan geometri ruang pengeringan serta beban bahan pelarut yang digunakan. Setelah itu, anda akan mempunyai pilihan yang efisien dari segi tenaga, yang memenuhi standard peralatan antarabangsa, serta merupakan pengganti yang sesuai untuk modul pengeringan lama.