Mantenere la sicurezza mentre si riscaldano le wafer in zone ad alta volatilità
Siamo onesti: riscaldare le wafer in una zona di pulizia chimica è come giocare con il fuoco. Quando ci sono vapori infiammabili nell’aria, anche una scintilla accidentale può causare disastri.
Per evitare che ciò accada, abbiamo smesso di utilizzare lampade a elemento aperto. Invece, abbiamo optato per sistemi a raggi infrarossi sigillati. Ecco come funziona davvero.
Il segreto è nel sigillo
Non lasciamo semplicemente il tubo di quarzo esposto all’aria: sarebbe un errore fatale. Le nostre lampade sono avvolte in un involucro di quarzo o zaffiro di alta qualità. Si tratta di una sorta di “copertura protettiva” che impedisce ai filamenti elettrici di entrare in contatto con l’aria. In questo modo, i agenti chimici aggressivi non possono danneggiare gli elementi interni della lampada. Utilizziamo anche sigilli ermetici alle giunzioni dei catodi. Perché? Perché se i prodotti chimici penetrano nei circuiti elettrici, possono distruggerli in pochissimo tempo.
Gestire il calore (e i rischi)
Non si può semplicemente posizionare una lampada a raggi infrarossi ad alta potenza vicino a un serbatoio contenente sostanze chimiche volatili: sarebbe una minaccia di esplosione. Calcoliamo la distanza di sicurezza in base al livello di radiazione massima emessa dalla lampada e al punto di fiammazione delle sostanze chimiche utilizzate. Regolando la lunghezza focale e utilizzando riflettori, possiamo indirizzare il calore esattamente dove è necessario, cioè sulla wafer, mantenendo al contempo il resto del dispositivo abbastanza freddo da evitare qualsiasi rischio di incendio.
I compromessi
Niente è perfetto. L’uso di questa copertura protettiva riduce leggermente l’efficienza della lampada. Noterete che non è altrettanto efficace rispetto a una lampada senza protezione. Per compensare, potrebbe essere necessario aumentare la potenza della lampada o far sì che la wafer rimanga sotto il calore per alcuni secondi in più, fino a raggiungere la temperatura desiderata.
Installazione corretta
Utilizziamo connettori rinforzati su questi dispositivi per evitare problemi legati agli arcii elettrici. Ma il fattore chiave è senz’altro il sistema di messa a terra. Assicuratevi che il sistema di messa a terra sia perfettamente funzionante. Un sistema di messa a terra inefficiente in ambienti chimici può causare gravi problemi.
Un ultimo consiglio: installate un termocoppia esterna sul guscio esterno del dispositivo. È una sorta di “sistema di sicurezza”. Impostatela in modo che, se il guscio diventa troppo caldo, il sistema interrompa immediatamente l’alimentazione. Meglio un arresto improvviso che un incendio.