Nella sala di produzione, ogni joule speso per il processo di essiccazione è un joule che non può essere utilizzato per migliorare le prestazioni del processo stesso. I dispositivi di essiccazione tradizionali tendono a superare i valori desiderati per compensare i ritardi termici, il che comporta uno spreco di energia e mette a rischio la qualità delle superfici da trattare. Abbiamo quindi creato una piattaforma di essiccazione in grado di ridurre tale spreco, mantenendo comunque un controllo termico di qualità elevata.
Cosa è importante dal punto di vista tecnico
Utilizziamo emettitori a onde infrarosse di media lunghezza, abbinati a sensori a strato sottile, per mantenere la stabilità delle temperature entro ±0,1°C su tutta la superficie del wafer. Questo permette di ottenere profili di essiccazione precisi e ripetibili, nonché un migliore controllo della uniformità della superficie del wafer. Il dispositivo funziona a 230 VAC, ha dimensioni compatte e l’array di emettitori è modulare, il che permette di sostituire rapidamente i moduli durante le manutenzioni. Il funzionamento in ambiente pulito è garantito: il dispositivo opera in condizioni di classe 1–100, senza generazione di particelle, grazie al monitoraggio in tempo reale. L’utilizzo energetico è ridotto grazie alla velocità di risposta del dispositivo e al minimo superamento dei valori desiderati, così da mantenere sotto controllo il consumo energetico.
Perché funziona nella pratica
L’essiccazione non consiste semplicemente nell’eliminare i solventi. Si tratta piuttosto di stabilizzare la struttura del film prima dell’esposizione e prima che avvenga l’unione tra i vari componenti. Con questa piattaforma è possibile mantenere la qualità del processo, riducendo al contempo il consumo energetico per ogni lotto prodotto. L’uniformità della superficie del wafer aiuta a ridurre problemi legati alle aree marginali e ai residui di solventi, il che significa meno scarti e necessità di rifiniture. Abbiamo visto che questo sistema funziona perfettamente nelle linee di produzione che operano 24/7, senza interruzioni impreviste, e la ripetibilità dei profili di essiccazione permette di ottenere risultati omogenei tra i diversi prodotti e nodi tecnologici.
Cosa bisogna sapere in anticipo
La modernizzazione del sistema richiede semplicemente l’adattamento dell’interfaccia esistente e la verifica della corrente di estrazione. È previsto un breve periodo di collaudo per regolare i parametri del sistema in base alla geometria della camera di produzione e al carico di solventi. Una volta che tutto è impostato, si ottiene una soluzione efficiente dal punto di vista energetico, che soddisfa gli standard internazionali per gli equipamenti e rappresenta una soluzione valida per sostituire i vecchi moduli di essiccazione.